04 X射线光电子能谱分析02课件.pptVIP

第四章 X射线光电子能谱分析 表面成分分析方法概述 X射线光电子能谱分析 4.2 X射线光电子能谱（XPS）分析 光电子能谱基本原理 X射线光电子能谱仪 X射线光电子能谱的分析方法 X射线光电子能谱的应用 2 光电过程机理光线与物质的相互作用 反射（能量不损失） 吸收（能量转化为热能） 光电离（转化为电子） M+hV－－》M+ ＋ e 一般为单电子过程 只要光子能量足够，可以激发出所有轨道电子。 光电子的产生 — 光电效应 在高真空系统中，采用单色光源去照射固体样品，使样品中的电子受到激发而发射出来 光电子发射过程 光电子的产生（入射光子与物质作用，光致电离产生光子） 光电子的运输（光电子自产生处运输到物质表面） 光电子的逸出（克服表面势垒而发射到物质外的真空中去） 光电子的能量 用X射线照射固体时，由于光电效应，原子的某一能级的电子被击出物体之外，此电子称为光电子。 如果X射线光子的能量为hν，电子在该能级上的结合能为Eb，射出固体后的动能为Ek，则它们之间的关系为： hν=Eb+Ek+?s +A 式中?s为功函数，它表示固体中的束缚电子除克服各别原子核对它的吸引外，还必须克服整个晶体对它的吸引才能逸出样品表面，即电子逸出表面所做的功。上式可另表示为： Eb＝hν-Ek-?s-A 可见，当入射X射线能量一定后，若测出功函数和电子的动能，即可求出电子的结