33超精密加工技术..pptVIP

* * 第三章 先进制造工艺技术 第三节 超精密加工技术 加工精度的进化 一、概述 ◆精密加工 —— 在一定的发展时期，加工精度和表面质量达到较高程度的加工工艺。 超精密加工 —— 在一定的发展时期，加工精度和表面质量达到最高程度的加工工艺。 ◆瓦特改进蒸汽机 —— 镗孔精度 1mm 20 世纪 40 年代 —— 最高精度 1μm 20 世纪 末 —— 精密加工：≤0.1μm，Ra ≤0.01μm（亚微米加工） 超精密加工：≤ 0.01μm ，Ra≤ 0.001μm（纳米加工） ◆微细加工 —— 微小尺寸的精密加工 超微细加工 ——微小尺寸的超精密加工 零件 加 工 精 度 表面粗糙度 激光光学零件 形状误差 0.1μm Ra 0.01～0.05μm 多面镜 平面度误差 0.04μm Ra ＜0.02μm 磁头 平面度误差 0.04μm Ra ＜0.02μm 磁盘 波度 0.01 ～0.02μm Ra ＜0.02μm 雷达导波管 平面度垂直度误差 ＜ 0.1μm Ra ＜0.02μm 卫星仪表轴承 圆柱度误差 ＜0.01μm Ra ＜0.002μm 天体望远镜 形状误差 ＜ 0.03μm Ra ＜0.01μm 几种典型精密零件的加工精度 ◆ 几种典型精密零件的加工精度 ◆ 精密加工与超精密加工的发展 精密加工与超精密加工的发展（Taniguchi，1983） 普通加工 精密加工 超精密加工 超高精密磨床 超精密研磨机 离子束加工 分子对位加工 车床,铣床 卡尺 加工设备 测量仪器 精密车床 磨床 百分尺 比较仪 坐标镗床 坐标磨床 气动测微仪 光学比较仪 金刚石车床 精密磨床 光学磁尺 电子比较仪 超精密磨床 精密研磨机 激光测长仪 圆度仪轮廓仪 激光高精度测长仪 扫描电镜 电子线分析仪 加工误差（μm） 100 101 102 10-2 10-1 10-3 1900 1920 1940 1960 1980 2000 年份 精密与超精密加工技术是一个国家制造业水平重要标志 例：美国哈勃望远镜形状精度0.01μm；超大规模集成电路最小线宽0.1μm，日本金刚石刀具刃口钝圆半径达2nm 精密加工与超精密加工技术是先进制造技术基础和关键 例：美国陀螺仪球圆度0.1μm，粗糙度Ra0.01μm，导弹命中精度控制在50m范围内；英国飞机发电机转子叶片加工误差从60μm降至12μm，发电机压缩效率从89%提高到94%；齿形误差从3-4μm减小1μm，单位重量齿轮箱扭矩可提高一倍 精密加工与超精密加工技术是新技术的生长点 精密与超精密加工技术涉及多种基础学科和多种新兴技术，其发展无疑会带动和促进这些相关科学技术的发展 精密与超精密加工地位 结合加工 分类 加工机理 加工方法示例 去除加工 电物理加工 电火花加工（电火花成形，电火花线切割） 电化学加工 电解加工、蚀刻、化学机械抛光 力学加工 切削、磨削、研磨、抛光、超声加工、喷射加工 热蒸发（扩散、溶解） 电子束加工、激光加工 附着加工 注入加工 化学 化学镀、化学气相沉积 电化学 电镀、电铸 热熔化 真空蒸镀、熔化镀 化学 氧化、氮化、活性化学反映 电化学 阳极氧化 热熔化 掺杂、渗碳、烧结、晶体生长 力物理 离子注入、离子束外延 连续加工 热物理 激光焊接、快速成形 化学 化学粘接 变形加工 热流动 精密锻造、电子束流动加工、激光流动加工 粘滞流动 精密铸造、压铸、注塑 分子定向 液晶定向 精密与超精密加工分类 直接式进化加工：利用低于工件精度的设备、工具，通过工艺手段和特殊工艺装备，加工出所需工件。适用于单件、小批生产。 间