微电子工艺模拟与器件的CA方法进展简析.doc

微电子工艺模拟及器件分析的CA方法研究进展( 周再发，黄庆安，李伟华 （东南大学 MEMS教育部重点实验室，江苏 南京210096） 摘要：综述了用于微电子工艺模拟和器件分析的元胞自动机（CA）方法的研究进展，分析了已有CA方法的优缺点并比较了CA方法与现有的其它方法的优劣。在此基础上，展望了微电子工艺模拟及器件分析的CA方法的发展前景。 关键词： 元胞自动机； 工艺模拟； 器件分析； 电子器件 中图分类号：TN40 Cellular Automata Methods for Simulation of Integrated Circuits Fabrication Process and Analysis of Electron Devices ZHOU Zai-fa, HUANG Qing-an, LI Wei-hua (Key Laboratory of MEMS of the Education Ministry, Southeast University, Nanjing 210096, China) Abstract: latest development of cellular automata (CA) methods for simulation of integrated circuits fabrication process and analysis of electron devices is introduced in the paper. The priority of the present CA methods is analyzed and CA methods and other available methods in this domain are compared. The prospect of CA methods for simulation of integrated circuits fabrication process and analysis of electron devices is finally discussed. Keywords: Cellular automata; Process simulation; Device analysis; Electron device EEACC: 2560；2550E；2575 1 引 言 随着集成电路（IC）的集成度发展到超大规模集成（VLSI）、特大规模集成（ULSI），计算机辅助设计已经成为设计、开发、研制大规模集成电路必不可少的有效手段。在大规模集成电路的计算机辅助设计中，包括器件模拟、工艺模拟、电路模拟、时序模拟或逻辑模拟、版图设计和自动布局布线等几方面的内容。其中器件模拟与工艺模拟是大规模集成电路的计算机辅助设计系统中的重要组成部分，是优化半导体器件工艺及集成电路工艺，分析器件及电路特性的必不可少的技术手段。 目前，在微电子加工工艺模拟方面，随着计算机技术的飞速发展，计算机运算速度对CA方法应用的限制减小，CA方法以其模拟精度高的优点逐渐得到研究者的重视，研究采用CA算法仿真光刻、淀积、氧化等工艺过程，已成为集成电路CAD的一个重要方向[1-5]。在半导体器件分析方面，最流行的集成工艺模拟与设计系统TSUPREM-4中主要采用的数值技术是蒙特卡罗法[6]。蒙特卡罗法通过追踪大量粒子在器件中电场作用下的运动来求解器件问题，是一种以概率论统计理论为基础的统计数值模拟法，它有其在运算速度方面的不足。由于CA方法在半导体器件分析方面具有运算速度快，模拟精度高的优点，采用CA方法模拟微电子器件的工作原理的研究也逐渐得到广泛关注[7]。 本文综述了国内外采用CA方法模拟微电子加工工艺及器件的研究现状，分析了已有CA方法的一些优缺点，并讨论其将来可能的发展方向。 元胞自动机概述 S. Ulam首先提出了元胞自动机（CA）的思想，基于这个思想，V. Neumann于1948年采用具有29个状态的二维元胞空间建立了一个具有自我复制特性和通用计算能力的元胞自动机[8]。此后较长一段时期，对元胞自动机进行的研究都主要集中于理论方面，直到20世纪80年代初, S. Wolfram对CA的基本性质作出了更系统的阐述和进一步的拓展[9,10]，建议简化细胞自动机的状态空间和邻域半径，以获得具有组成单元结构的简单规则性、单元之间作用的局部互连性和信息处理的高度并行性等优点的细胞自动机。S. Wolfram对细胞自动机的简化推动了细胞自动机理论及其应用研究，目前，ＣＡ已经逐渐成为一个国际前沿的研究领域，被广泛地应用到社会学、生物学、信息科学、计算机科学、数学、物理、化学、军事科学等研究中