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二、信号转移部分 信号转移部分的作用是存储和转移信号电荷。 转移部分是由一串紧密排列的MOS电容器构成,根据电荷总是要向最小位能方向移动的原理工作的。 转移时,只要转移前方电极上的电压高,电极下的势阱深,电荷就会不断的向前运动。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 通常是将重复频率相同、波形相同并且彼此之间有固定相位关系的多相时钟脉冲(数字脉冲)分组依次加在CCD转移部分的电极上,使电极上的电压按一定规律变化,从而在半导体表面形成一系列分布不对称的势阱。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 由图可见,在信号电荷包运动的前方总是有一个较深的势阱处于等待状态,于是电荷包便可沿着势阱的移动方向向前定向作连续运动。 势阱中电荷的容量由势阱的深浅决定,电荷在势阱中存储的时间,受限于势阱的热弛豫时间,它必须远小于热弛豫时间,所以CCD是在非平衡状态工作的一种功能器件。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 三、输出部分 输出部分由一个输出二极管、输出栅和一个输出耦合电路组成,其作用是将CCD最后一个转移栅下势阱中的信号电荷引出,并检测出电荷包所输出的信息。 最简单的输出电路是通过二极管检出,输出栅采用直流偏置; Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 输出二极管处于反向偏置状态,到达最后一个转移栅下的电荷包,通过输出栅下“通道”,到达反向偏置的二极管并检出,从而产生一个尖峰波形,此波形受偏置电阻(R)、寄生电容(C),以及电荷耦合器件工作频率的影响。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. FDA读出方法的等效电路 二极管输出电路及输出波形 左上图示出了这种输出电路及波形。这种电路简单,但是噪声较大,很少采用。 现在多采用浮置栅输出技术,它包括两个MOSFET,并兼有输出检测和前置放大的作用,如左下图所示。 浮置扩散放大器(FDA)的读出方法是一种最常用的CCD电荷输出方法。它可实现信号电荷与电压之间的转换,具有大的信号输出幅度(数百毫伏),以及良好的线性和较低的输出阻抗。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. CCD的输出电路的设计和制造,和输入电路一样是极为重要的,它们决定了整个CCD器件的噪声幅值。 由于CCD是低噪声器件,因此选择和设计好CCD输入和输出电路,对于提高器件的信噪比,增大动态范围有着决定性的影响。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 电荷转移沟道 CCD的信号电荷转移沟道有两类, 表面沟道电荷耦合器件(SCCD) 体内沟道(隐埋沟道或埋沟)电荷耦合器件(BCCD)。 信号电荷包转移和存储的势阱是在Si—SiO2界面处的Si表面移动的, 而半导体硅表面处晶格周期性中断,在禁带中将存在着密度很高的局部能级(相当于1015cm-2数量级)。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-

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