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设备电力 设备的电力来自楼下两个Power Box。 同时，在每一个BCT下方都有一个各个单元的电源控制按钮面板。 对应单元的电源按钮。在BCT旁，比较方便，每个都是控制各个单元的AC Power BOX SCR下方的AC Power Box，ACPower Box和I/O Box 往往在一起。 楼下的总控制柜 5. ExcelinerTM 1800 的维护 日常维护： SCR，DEV，OVEN，Buf的维护主要是以清洁工作为主： SCR 和DEV单元都配有用于清洗的高压水枪。 Buff和OVEN需要定期擦拭表面。保证particle量不要超标。同时，在打开OVEN，DP时，需要做好保护措施，防止chamber盖瞬间掉下。 各处的轴承，皮带的松紧，液体和气体的压力都需要经常地进行check Coater的Head 拆卸操作 拆卸和安装HEAD的步骤: 1.首先，先移动到”洗净/干燥待机位置”，Pumb入Thinner 液体将HEAD里的PR排净. 注意：系统已经保存有连续完成这些命令的动作，不需要手动进行，选择相应的操作可以排出PR,HEAD从home位置到洗净/干燥待机位置,排完之后会自动的回到home外置。 上面图中标出的位置点可作为参考。 2.再把THINNER排净. 3.在filling位置将连接在Nozzle上的所有配管拆掉之后,回到home位置,主要是中间的PR胶