CT厂进气过滤方式分析课件.pptVIP

Compeq Confidential * CT廠進氣過濾方式分析報告 單位:Y60 報告人:葉日恆 報告內容: 一.問題點 二.理念政策 三.期望 四.差異分析及改善措施提出 4.1進氣各種處理方式的評估 4.2活性碳過濾處理的設計原則 4.3CT廠活性碳過濾現況設計說明表 4.4目前CM、CT之現況檢討與費用預估 1.1問題現象: 1.目前大園廠生產的過程中,置放的holding time在4小 時內即發生盲孔孔底發黑或發藍, 造成盲孔浮離的現 象。 2.空氣過濾處理之效率及需求無法量化。 1.2經過分析的問題點: 1.初步判定外氣含有化學污染物質,如下表: 如何維持板子置放時間在8小時而無品質異常？ 一.問題點 根據以上量測值懷疑空氣中的化學污染物質即為造成板子 盲孔孔底發黑或發藍的現象。 若參考