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离子散射谱(ISS) 内 容 提 要 引言 ISS基本原理 ISS谱仪 ISS分析 ISS的应用 引 言 材料表面分析技术 引 言 离子作为探测束的优点：可得到最表层的信息，具有很高的检测灵敏度，能给出十分丰富的表面信息等 离子散射谱一般分为两种： 低能离子散射谱，一般称为离子散射谱(ISS) 高能离子散射谱，一般称为Rutherford背散射谱(RBS) 低能离子散射谱(ISS)：入射离子能量较低(离子动能为100电子伏至几千电子伏) Rutherford散射谱(RBS)：入射离子能量很高(25千电子伏到几个兆电子伏) 引 言 ISS和RBS理论基础：入射离子与靶原子进行弹性碰撞。 根据弹性散射理论，由于散射离子的能量分布和角分布与表面原子的原子量有确定的关系，通过对散射离子进行分析就可以得到表面单层元素组分及表面结构的信息。 ISS 基本原理 ISS 基本原理 ISS 基本原理 ISS 基本原理 ISS 谱仪 ISS 谱仪 ISS 谱仪 ISS 谱仪——离子源 在表面分析中离子源的重要参数有： (1)能量分散不应大于几伏； (2)从离子源得到的离子流最少几微安； (3)发散角为小于1度； (4) 气体向离子源的泄漏要能精确控制，供给电子的灯丝要便于更换。 ISS 谱仪——离子源 ISS 谱仪——真空系统 低能散射要求良好的真空条件，