扫描电子显微镜详细学习概述.ppt

概述 类型与原理 应用 概 述 电子显微分析是利用聚焦电子束与试样物质相互作用产生的各种物理信号分析试样的微区形貌/晶体结构和化学组成，主要有透射电镜/扫描电镜/电子探针等。 光学显微镜的分辨率 由于光波的波动性，使得由透镜各部分折射到像平面上的像点及其周围区域的光波发生相互干涉作用，产生衍射效应。一个理想的物点，经过透镜成像时，由于衍射效应，在像平面上形成的不再是一个像点，而是一个具有一定尺寸的中央亮斑和周围明暗相间的圆环所构成的Airy斑。如图5-1所示。 一、光学显微镜的分辨率 雷列—阿贝公式： r=0.61λ/nsinα 式中：r——分辨本领（nm）,试样在显微镜上能分辨的两个点间的最小距离。 λ——照明源的波长（nm） n——透镜上下方介质的折射率 α——透镜孔径半角（度） nsinα——数值孔径，用N·A表示 有效放大倍数 上式说明，光学透镜的分辨本领主要取决于照明源的波长。半波长是光学显微镜分辨率的理论极限。可见光的最短波长是390nm，也就是说光学显微镜的最高分辨率是≈200nm。 一般地人眼的分辨本领是大约0.2mm，光学