《俄歇电子能谱.pptVIP

电极V2-2、V3、V4、V5和V6组成主聚焦系统。在电极V2-1和V2-2之间,以及V4和V6上装有带小孔的钼片,该钼片具有限制束收敛角的作用,也可以在电子枪的调试中当束偏心时进行防护和显示。为了补偿机械上的非准直性和杂散磁场的影响,在电极V4和V6上各装有一组偏转板。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 电子枪和能量分析器之间的位置配置有两种，同轴配置和非同轴配置。 电子枪的性能指标有电子束径、束流强度和束流能量。电子束径表征电子束会聚成细束的程度。 电子束流除影响电子束径外，还关系到检测灵敏度和录谱时间，俄歇分析一般为10-6~10-9A，过大的束流对样品的损伤严重。AES的一次电子束能量一般为3~5keV Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 3.电子能量分析器 电子能量分析器是俄歇谱仪的核心部分，用以测量俄歇电子的动能。 目前AES使用的静电偏转型分析器主要有两种：筒镜型分析器