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* ⑴ 烧结炉正常工作时突然出现压缩空气流速低下，设备会自动停止运转，同时警报被触发。 此时先取下进口和出口的传送带上硅片，在设备PC上下载冷却工艺。可能原因是流量计故障或进口的压缩空气压力偏低。处理方法是更换流量计、减压阀或者是通知设备中心设施相关人员增大压缩空气的压力。当故障解除后开启设备，取出炉子里的硅片，再按正常升温步骤升温即可恢复生产。 ⑵ 烧结炉正常工作时突然出现无压缩空气，设备会自动停止运转，同时警报被触发。此时先取下进口和出口的传送带上硅片，在设备PC上下载冷却工艺。待时开启设备，取出炉子里的硅片，按正常升温步骤升温即可恢复生产。有压缩空气 压缩空气（CDA）故障 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. * 烧结温度的设定 温度可根据实际情况作出±10℃的调试，一般很少做大幅度的调动。除了工艺初始化、更换浆料型号、特殊规格的硅材料，才采用比较差异的烧结温度进行烧结。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 A