铸锭工艺工艺流程基本原理.pptVIP

铸锭工艺原理 DSS（定向固化系统）能生产较大尺寸的，优质的多晶硅锭（用于光伏工业领域D）。DSS的生产量很大，能在不到50个小时的时间内生产出270kg的硅锭。在长晶期间，只有一个部件在运动，这样的设计极大地简化了操作，减小了操作的复杂性。尤其注意降低一些消耗件（例如加热器，隔热元件）的成本，从而降低了炉子长期运行的成本。 内涂SiN的坩埚装入多晶硅料后放在导热性很强的石墨块上（即所谓的定向固化块或者DS块）。关闭炉子后排气，接通加热器电源融化硅料数小时以上。坩埚的四个竖直边都围有石墨加热器，DS-Block，坩埚四周围有隔热层。隔热层的竖直边能上下移动以便露出DS-Block的边缘，使热量辐射到下腔室的水冷四壁上。水冷却DS-Block后再返回来冷却坩埚底部，从而使坩埚内的熔融硅周围形成了一个竖直温度梯度。这个梯度使坩埚内的硅料从底部开始凝固，从熔体底部向顶部开始长晶。当所有的硅料都凝固后，在程序的控制下，硅锭需要经过退火，冷却处理以免破裂且能将（晶格）位移降到最小限度 。 DSS外观 装好料的坩埚 加热区 加热区有4个石墨板，板的下角与6个馈通器相连。这样坩埚四周围有一个“正方形”的加热器，可以使用加热元件周围隔热层较平坦的元件隔热。在不锈钢笼里有两层隔热介质，由3个隔热层提升杆支撑不锈钢笼。隔热层由石墨制成的，故能降低成本且便于更换。隔热元件相互交叠以免不期望的热量