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薄 膜 物 理 参 考 书 1. 电子薄膜科学 杜经宁 J.W.迈耶 L.C.费尔德曼.黄信凡 杜家方 陈坤基 译 ，科学出版社，北京，1997。 2.薄膜生长 吴自勤 3.薄膜物理 薛增泉 4.电子薄膜材料 曲新喜 5. Film Material Sciences of Microstructures 微电子工艺. 6.Quantum Heterostructures-- microelectronics and Optoelectronics, V.V.Mitin et al. Cambridge University Press ，1998. 主要内容 第一章 薄膜科学发展概况 薄膜材料综述，薄膜研究发展现状,薄膜制备方法简述。 第二章 薄膜科学技术的物理基础 表面原子结构，表面能，固体中的扩散。 第三章????表面生长动力学过程 气体分子与固体表面相互作用的模式，表面上的成核模型，薄膜生长模式，台阶生长模式，薄膜成核与生长的原子理论。 第四章 异质外延薄膜 异质外延和结构，薄膜应力和应变，异质外延层中的应变能和应变层稳定性，临界厚度，扩散蠕变弛豫，失配位错和弹性能，应变超晶格。 第五章 非晶薄膜 非晶薄膜的亚稳态，制备，晶化，固相外延。 第六章 薄膜化合物形成中的动力学过程 固溶体中的互扩散，形成金属化合物的互扩散，界面反应，薄膜化合物形成中的相转变。 主要内容 第七章 量子结构中的电子态 量子阱，量子线，量子点，量子阱之间的耦合，超晶格，量子结构中的激子。 第八章????薄膜电输运性质-经典情况、量子异质结构 薄膜输运中的尺寸效应，量子结构中的电子散射、界面散射，无序体系的渝渗理论 第九章????薄膜光学性质 光学常数及色散关系，薄膜反射与透射，椭偏光度法. 几个专题 要求和考试 预修课程：量子力学、固体物理、热力学 作业：4——5次 期中考试：1 次 读书报告： 1次 考试方式：闭卷 课件复印和拷贝： 第一章 薄膜科学发展概况 目录 1. 薄膜材料应用的广泛性 2. 以Si为基的微电子学的发展 3. 以III-V化合物为主的光电子学的发展 4. 大面积电子学中的薄膜太阳电池 5. 薄膜制备工艺的发展 6. 薄膜制备方法简述 第一章 薄膜科学发展概况 1. 薄膜材料的广泛应用 MOS CMOS NMOS PMOS IC中最基本的器件（48道工艺） TFTs - 液晶显示 薄膜太阳电池 15层的InGaP/GaAs 叠层电池， 效率~30% 非晶硅、多晶硅等 光学薄膜 光发射膜、滤光膜等 有机膜 薄膜科学技术 薄膜材料、器件 第一章 薄膜科学发展概况 2. 以Si为基微电子学的发展 第一章 薄膜科学发展概况 2. 以Si为基微电子学的发展 第一章 薄膜科学发展概况 3. III-V化合物—— 光电子学的发展 第一章 薄膜科学发展概况 第一章 薄膜科学发展概况 4. 薄膜太阳电池 Si——无毒、地壳中储量丰富、技术成熟 单晶硅、多晶硅体材料电池 非晶硅、微晶硅、多晶硅薄膜电池 单晶硅体材料电池：效率高、成本昂贵，主要用于空间飞行器 第一章 薄膜科学发展概况 4. 薄膜太阳电池 第一章 薄膜科学发展概况 4. 薄膜太阳电池 非晶硅 第一章 薄膜科学发展概况 4. 薄膜太阳电池 化合物半导体电池 第一章 薄膜科学发展概况 4. 薄膜太阳电池 III-V 化合物 第一章 薄膜科学发展概况 4. 薄膜太阳电池 多晶薄膜化合物半导体电池 CdTe， CuInSe 863项目，中试线 第一章 薄膜科学发展概况 5. 薄膜制备工艺的发展 第一章 薄膜科学发展概况 薄膜技术的发展----器件 （新物理效应 新器件） 第一章 薄膜科学发展概况 体材料：? r l d ——经典情况，Boltzmann方程 薄膜： dl ——忽略载流子与样品边界的作用，体内散射为主。 d ? l ——界面散射需考虑。 ? ? r 磁场量子化 ? ? l 电导的能带理论不符合，低迁移率量子理论，介观物理 ? ? d 载流子运动的量子尺寸效应 第一章 薄膜科学发展概况 6. 薄膜制备方法 分为气相 、液相 、固相三种，以气相沉积为主。 第一章 薄膜科学发展概况 固相——固相外延生长 无媒介 有媒介 第一章 薄膜科学发展概况 具体介绍几种制备方法 第一章 薄膜科学发展概况 真空蒸发——热蒸发 高真空镀膜机，试料由电阻加热丝或舟蒸发。 第一章 薄膜科学发展