导电胶(碳或银) 样品台 样品 样品 抽真空 1KV直流高压 金靶 阳极 阴极 碳棒 抽真空 电极 金丝 钨丝 样品 抽真空 * §8. 4扫描电镜样品的制备 1. 扫描电镜观察对样品的要求 (1)尺寸要合适(厚度不超过5mm,直径不超过1cm。); (2)表面要清洁; (3)不含挥发性物质的干燥样品; (4)在真空中不变形; (5)样品表面要导电; 2. 导电层 (1)真空镀膜: 镀金膜和碳膜(当需要进行微区分析时) 膜厚在20 nm 左右。 (2)离子溅射:金膜。 (3)碳胶:形成导电通路。 3. 粉末样品的分散技术 由于超细粉末颗粒之间极易聚集成团。严重影响了表面细节的观察。对于粒度非常小的粉末样品,要想看到各个颗粒的形状,其中一个重要的问题是颗粒的分散。 常用的方法有: 双面胶带法; 碳导电胶或火棉胶法 ; 悬浮液法; 以上这些方法都不能将颗粒很好分散。 替代方法有: 玻璃片研磨法;该方法有人为破坏原样品原始团聚状态的可能。 当粉末粒子为0 5~4μm和细微粉末粒子小于0 5μm时,其表面活性很大,常常是
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