材料方法课件B讲述.ppt

§13-1 电子探针仪的结构与工作原理§13-2 电子探针仪的分析方法及应用 3 收集不同波长X射线的方法 思路：变换分光晶体的位置，使θ角发生变化。 方法： a直进式波谱仪: X射线照射分光晶体的方向固定，即出射角相同，不同波长的射线穿出样品的吸收条件相同。 b 回转式波谱仪：聚焦圆圆心不动，分光晶体和检测器在聚焦圆圆周上以1:2的角速度转动。 此法吸收条件不同，易因吸收造成误差。 2 实际分析时 Ky加以修正，则浓度 Z——原子序数修正项 A——吸收修正项 F——二次荧光修正项 定量分析对原子序数大于10、质量浓度大于10%的元素 修正后浓度误差在±5%以内。 图 BaF2晶界的线扫描分析 (a)形貌像及扫描线位置；(b)O及Ba元素在扫描线位置上的分布 Ba元素沿直线分布均匀，O沿晶界有偏聚 3. 面分析 将谱仪固定在接收某一元素特征X射线信 号的位置上，让电子束在样品表面作光栅扫 描，则在荧光屏上得到该元素的面分布图像， 图像中亮区表示该元素含量较高。 图 ZnO-Bi2O3陶瓷烧结表面的面分布成分分析 (a)形貌像 (b)Bi元素的x射线面分布像 Bi元素沿晶界偏聚 二. 定量分析简介 1 理想情况： Iy——样品中该元素（y元素）的X-ra