第二章 真空基础讲述.ppt

第二章 真空技术基础 真空与薄膜材料与技术有何关系？ ?? ?几乎所有的现代薄膜材料制备都需要在真空或较低的气压条件下进行 ???都涉及真空下气相的产生、输运和反应过程 ??? 了解真空的基本概念和知识，掌握真空的获得和测量技术基础知识 ?? ?是了解薄膜材料制备技术的基础！ 真空蒸发、溅射镀膜和离子镀等常称为物理气相沉积（Physical Vapor Deposition,PVD)基本的薄膜制备技术。它们均要求沉积薄膜的空间要有一定的真空度。因此真空技术是薄膜制备技术的基础，获得并保持所需的真空环境，是镀膜的必要条件。所以，掌握真空的基本知识是必要的。 2.1 真空基本知识 2.1.1 真空的基本概念及特点 真空（Vacuum）的概念： 利用外力将一定密闭空间内的气体分子移走，使该空间内的气压小于1 个大气压，则该空间内的气体的物理状态就被称为真空。 在真空科学里所定义的真空是压强“低于一个标准大气压（101.325kPa）的气体状态”。 注意：真空，实际上指的是? 一种低压的、稀薄的气体状态， ?? ?而不是指“没有任何物质存在”！ 真空是一种气体状态（并非一无所有）。所以有人把真空认为是什么物质也不存在的，即所谓的“绝对真空”那是错误的。 现代真空技术的极限：在超高真空极限10-11～10-