《薄膜材料2.pptVIP

第二章 真空技术基础 概 述 1643年，意大利物理学家托里折利演示了著名的大气压实验，为人类揭示了“真空”这个物理状态的存在。 20世纪初，真空技术获得了飞速发展，被广泛应用于军事及民用领域。 真空技术是制备薄膜的基础。几乎所有薄膜材料的制备都是在真空或较低气压条件下进行的。 真空的定义：在给定空间内，气体压强低于一个大气压的气体状态。 绝对真空：完全没有气体的空间状态。 真空的基本知识 真空的基本知识 怎样表示真空程度？ 真空度 压强 气体分子密度：单位体积中气体分子数 气体分子的平均自由程 形成一个分子层所需的时间等 真空度的单位 毫米汞柱（mmHg）：使用最早、最广泛的压强单位，它是通过直接度量长度来获得真空的大小。 托（Torr）：在标准状态下，1毫米汞柱对单位面积上的压力，1Torr=1mmHg。 1971年，国际计量会议正式确定“帕斯卡”作为气体压强的国际单位，1Pa=1N/m2?7.5?10-3Torr。 粗真空（Pa） 1?105 ~1?102 低真空（Pa） 1?102 ~1?10-1 高真空（Pa） 1?10-1~1?10-6 超高真空（Pa） 1?10-6 气体与蒸气 各种物质的临界温度 §2.1 气体分子运动论的基本概念 一、气体分子的运动速度及其分布 气体分子运动论的理论：气体的大量分子每时每刻都处于无规则的热运动