《薄膜生长机理.pptVIP

* * 薄膜的形成过程和生长模型 薄膜的形成过程是指： 形成稳定核之后的过程。 薄膜生长模式是指：薄膜形成的宏观形式。 成长有三种模式： 岛状生长形式； 层状生长形式； 层岛结合形式。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 薄膜的形成过程可分为四个主要阶段 岛状阶段 在透射电子显微镜观察过的薄膜形成过程照片中，能观测到最小核的尺寸约为2～3nm左右。在核进一步长大变成小岛过程中，平行于基体表面方向的生长速度大于垂直方向的生长速度。这是因为核的长大主要是由于基体表面上吸附原子的扩散迁移碰撞结合，而不是入射蒸发气相原子碰撞结合决定的。 例如，以MoS2为基片，在400℃下成膜时，Ag或Au膜的起始核密度约为5×1014m-2，最小扩散距离约为50nm。 这些不断捕获吸附原子生长的核，逐渐从球帽形、圆形变成多面体小岛。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 对于岛的形成可