第3章应变式传感器精选.ppt

第3章 应变式传感器 3.1 工作原理 （3-2） 灵敏系数：单位应变能引起的电阻值变化。 物理意义：单位应变所引起的电阻相对变化量。 影响灵敏系数的因素: ①受力后材料几何尺寸的变化, 即（1+2μ）； ②受力后材料的电阻率的变化, 即（dρ/ρ）/ε。 （电阻应变效应表达式） 上式表明： 在电阻丝拉伸极限内, 电阻的相对变 化与轴向应变成正比, 即K0为常数。 三、半导体应变片（半导体压阻器件） 压阻效应:是指半导体材料,当在某一轴向受外力 作用时,它的电阻率发生变化的现象。 半导体应变片受轴向力作用时，它的电阻相对变化为 式中：d ρ /ρ为半导体应变片的电阻率相对变化量 式中：π——半导体材料的压阻系数； σ——半导体材料的所受应变力； ε——半导体材料的应变； E ——半导体材料的弹性模量。 将式（3-10）代入（3-9）中得 两种应变片比较： 半导体应变片的灵敏系数比金属丝式50～80 倍，但半导体材料的温度系数大，应变时非线性 比较严重，使它的应用范围受到一定限制。 四、应变测量原理 根据应力与应变的关系, 得到应力值σ为 σ= E ·ε （3 - 13） 式中 : σ——试件的应力；  ε——试件的应变； E——试件材料的弹性模量。 ∵应力值σ∝应变ε, 试件应变ε ∝ ΔR, ∴应力σ ∝ ΔR 利用应变片测量应变的基本原理 3.2 应变片的种类、材料及粘贴 一、 金属电阻应变片的种类 金属应变片组成：敏感栅、基片、覆盖层和引线等 ☆ 箔式应变片的外形 金属薄膜应变片：采用真空溅射或真空沉积 的方法制成，它将可产生形变的金属或合金直接 沉积在弹性元件上而不用粘和剂。 二、金属电阻应变片的材料 对电阻丝材料有这样的要求： ①灵敏系数大，且在相当大的应变范围内保持常数； ②ρ值大，即在同样长度、同样横截面积的电阻丝中具有较大的电阻值； ③电阻温度系数小，否则因环境温度变化也会改变其阻值； ④与铜线的焊接性能好，与其它金属的接触电势小； ⑤机械强度高，具有优良的机械加工性能。 三、半导体压阻器件 （半导体应变片） 1．体型半导体应变片 将半导体原材料按所需晶向切割成片和条，粘贴在弹性元件上使用 。 2．薄膜型半导体应变片 利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带绝 缘层的基底上制成。 特点：灵敏系数、温度系数与电阻温度系数比其 他类型半导体应变片低，使用温度范围为 -150～2000C。 3．扩散型半导体应变片 将P型杂质扩散到N型硅片上，形成极薄的 导电P型层。焊上引线就成为应变片。 3.3 电阻应变片特性 一、弹性敏感元件及其基本特性 弹性元件：具有弹性变形特性的物体。 1．刚度： 弹性元件单位变形下所需要的力 。 C= 式中：F — 作用在弹性元件上的外力,单位为牛顿(N)； x — 弹性元件所产生的变形，单位为毫米(mm)。 二、灵敏系数 在一定应变范围内ΔR／R与ε t的关系满足 下式： (3-16) 式中：ε t——应变片的轴向应变。 定义K=(ΔR／R)／ε t 为应变片的灵敏系数。 注意： K≠ K0 即，应变片的灵敏系数K并不等于敏感栅整 长应变丝