第九章单晶硅制备-直拉法讲述.pptVIP

2） 晶棒晃动 晶棒晃动：晶棒的中心没有在熔液的中心，显示出在熔液中摆动。 可能原因： 1埚位太高； 2上下对中或水平有问题； 3提拉头动平衡有问题 如何处理： 根据实际情况，报告主管或工程师，适当降低晶转和埚转，停炉之后检查对中、水平情况和提拉头动平衡。 3） 晶棒扭曲 晶棒扭曲：晶棒不直，出现S形。 原因：1 熔液径向温度低； 2 上下对中和水平有问题； 3 埚位太低； 4 氩气流不均匀； 5 籽晶阻尼套问题。 出现扭曲一般如何处理： 观察扭曲程度，适当提高埚位。如果扭曲较严重，退出自动，手动拉晶：适当降低拉速，增加补温，并使直径适当变大，待扭曲情况改善后把直径变回正常，重新进入自动。 待停炉之后查找扭曲根本原因！ 4） CCD状态 操作工需要经常查看CCD状态，观察相机工作是否正常，且相机取样范围需要有一定的余量，以防止晶棒出现晃动和扭曲时相机失控。 等径时的CCD取像 5 ）真空状态 CZ过程炉内的压强一般在12-20Torr，全自动炉会根据设定压强，自动调整真空蝶阀开度，使炉内真实压强接近于设定值。 6 ）冷却水状态 冷却水对单晶炉的正常运行起着非常重要的作用。各单晶炉都有冷却水异