薄膜物理与技术-5薄膜的形成与生长精选.ppt

5.3 生长过程 两个圆形核结合时间小于0.1s,并且结合后增大了高度，减少了在基片所占的总面积。结合时类液体特性导致新出现的基片面积上会发生二次成核，结合后的复合岛若有足够时间，可形成晶体形状，多为六角形。 ② 小岛阶段 小岛阶段 小岛阶段过程：课本P152 5.3 生长过程 圆形的岛在进一步结合处，才继续发生大的变形→岛被拉长，从而连接成网状结构的薄膜，在这种结构中遍布不规则的窄长沟道，其宽度约为5-20nm，沟道内发生三次成核，其结合效应是消除表面曲率区，以使生成的总表面能为最小。 ③ 网络阶段 网络阶段过程： 课本P152 5.3 生长过程 小岛结合，岛的取向会发生显著的变化，并有些再结晶的现象。沟道内二次或三次成核并结合，以及网状结构生长→连续薄膜。 ④ 连续薄膜 连续薄膜阶段过程： 课本P152 连续膜阶段 5.4 沉积参数对薄膜生长影响 沉积参数对薄膜生长的影响主要体现在： 沉积速率： 一般来说，沉积速率影响膜层中晶粒的大小与晶粒分布的均匀度以及缺陷等。 低速率：金属原子在基片上迁移时间长，容易到达吸附点位，或被吸附点位置上的小岛捕获而形成粗大的晶粒，使得薄膜的结构粗糙，膜不致密。后续原子不能及时达到，致使暴露时间长，易引入杂质，以及产生缺陷。因此，沉积速率高一些好。 高沉积速率：薄膜晶粒细小，结构致密，但由于同时凝结成的核很多，在能量上核处于能量比较高的状态，所