薄膜材料及其制备精选.ppt

* 薄膜材料及其制备 概 念 采用一定方法，使处于某种状态一种或几种的物质以物理或化学方式沉积于衬底材料表面，在衬底材料表面形成一层新的物质。 是由离子、原子或分子的沉积过程形成的二维材料。 状态 气态 液态 固态 结晶态 非晶 多晶 单晶 组成 金属薄膜 非金属薄膜 物性 硬质薄膜 超导薄膜 金属导电薄膜 介电薄膜 半导体薄膜 光学薄膜 磁学薄膜 一、物理气相沉积-蒸发法 1. 物质的热蒸发 利用物质高温下的蒸发现 象，可制备各种薄膜材料。 与溅射法相比，蒸发法显 著特点之一是在较高的真空 度条件下，不仅蒸发出来的 物质原子或分子具有较长的 平均自由程，可以直接沉积 到衬底表面上，且可确保所 制备的薄膜具有较高纯度。 制备方法 2. 元素的蒸发速率 环境中元素的分压降至其平衡蒸气压之下时，就会发生元素的蒸发。 元素的平衡蒸气压Pe随温度的变化率： 纯元素多以单个原子，但有时也可能是以原子团的形式蒸发进入气相。 ● 大多数金属，当温度达到元素熔点时，其平衡蒸气压也低于10-1Pa， 这种情况下，要想利用蒸发方法进行物理气相沉积，需将物质加热到其 熔点以上。