扩散 PECVD工艺调试说明.docVIP

设备工艺调试（扩散 ＰＥ） 扩散调试（针对喷淋、串级控制、压力补偿设备） 工艺调试前的准备工作 １　压力补偿功能是否正常运行 压力平衡系统调试 压力平衡主要由压力传感器、压力控制器、流量计组成。 压力传感器调试 压力传感器有两个气体压力检测口 一个与大气相通1一个与反应管相通2 1直接空开、2通过PFA管与热偶管相连。 注意不要将两个接口接反，检验方法：可以用口对准其中一个吹气可以发现控制器检测值增大否则可能接反了。 2 流量计调试 同时按“ENT”和“(”进入参数设定模式。（3秒以上） C03 值选为1 流量计出气口要接到石英连接器上，即补气口（将原来排废管上的补气口堵上）。 3 压力控制器 常按“set”ATU设为1时自整定，在设备连接好时进行补气时，将该值设定成1进行自整定（类似温度控制PID整定） OLH为限幅输出，一般设定为20%，（即在补气时流量计瞬时值不要超过10L/min） 如果压力控制器变化太快可以将延时设置成五（DF） 在STOP模式下边按SET边按R/S键4秒以上，进行工程技术模式： F00 MODE=128 F21 INP=35 PGDp=0 PGSH=1000 SLH=1000 F60 CMPS=0 ADD=10 BPS=3 BIT=4 INT=30 系统调试 压力控制器设定值500标示常压 调试好的压力系统在炉门打开时，检测值PV应该是500。 如果有偏差可以通过调整PB值来设定 在关闭炉门后，没有通反应气体压力检测值最好400 左右，当反应管内通入工艺瞬时总气量时，压力检测值要略低于设定值，这样才能发挥压力补偿作用。例如：设定值为520，检测值最好能达到510左右（如果不能达到预期值，可以通过调整排废手动阀门改变排废量。）检测值过大时可以开大阀门，检测值过小时调小排废量。 调试最终目的： 工艺时使补气功能正常工作，达到反应管内压力稳定。 注意事项： 1 补气量不能太大，最好不要超过10L/min，否则会引起反流。 2 补气量瞬时变化量不能太大或是太频繁这样会引起反应管内的反应气氛受到影响导致电阻不均匀。 3 整定时，要在系统正常补气时且检测值接近设定值时进行整定 4 系统调试好后，不要再去调整手动排废阀门，这样会对补气有较大影响。 5 当反应气体瞬时总流量发生变化时，要想反应压力不发生变化要适当调整手动排废阀门，因为排废总量是不会自动调整的，当进气总量发生变化时检测压力可能发生变化。 6 当无论通气与否，压力控制器检测到的压力值都不发生变化，这时候主要检查炉门是否关紧或是其他地方是否有漏气现象。 ２　温度控制是否正常 由于我们现在用的是串级热偶控制，所以拉恒温区没有特殊的必要了，但是一定要在正常工艺前把温控表的ＰＩＤ整定好。 我们现在使用的串级温控表是ＲＫＣ的ＨＡ９００表，具体调试方法如下 手动调整PID P 表示幅度调整 也就是控制范围 I 积分（时间） 采集速度 D 微分 未来变化速度 一般说来I：D=4：1 手动调节值 手动调节参数 RKC 方向：炉口→炉尾 1 2 3 4 5 P 3 2 1 2 4 I 70 240 240 240 240 D 15 60 60 60 60 方向：炉口→炉尾 1 2 3 4 5 P 0.3 0.4 0.5 0.3 0.3 I 45 120 120 80 44 D 12 30 30 20 11 RKC HA900温控表主要参数设置方法 一．面板操作键：A/M（自动/手动）切换 R/L（远程/本地）切换 R/S（Run/Stop）运行/停止切换 按set键进行SV1、SV2温度设置：SV1→CH1（内热电偶），SV2→CH2（外热电偶） 按住set键3秒以上：EV3绝对值报警温度，（目前对应的是EV3=1000度）CH1通道：PID参数人工设置炉口与炉尾处温 控表的PID参数按出厂值，按实际控温情况定。CH2：从开始升温进行自整定，按R/S键，切换进行本地控制，PID参数由自整定形成。CH2自整定AT完成后，切换进行远程控制，进行CH1的自整定 RKC厂商表自总定的PID参数： 表1（炉尾）CH1：P1：0.3 11:45 D1:12表2 CH1：P1：0.4 I1:120 D1:30 表3CH1：P1：0.5 11:120 D1:30表4 CH1：P1：0.311:80 D1:20 表5（炉口）CH1：P1：0.3 11:44 D1:11 三：按住∠mode键3秒以上：ATU=ON。CH1， CH2分别进行自整定。先在本地控制的模式下进行C