2013透射电镜原理教程范本.ppt

高分辨透射电子显微镜 透射电子显微镜发展的另一个表现是分辨率的不断提高。目前200KV透射电子显微镜的分辨率好于0.2nm，1000KV透射电子显微镜的分辨率达到0.1nm，可测定出分辨率约0.1nm的晶体结构。 透射电子显微镜分辨率的提高取决于电磁透镜的制造水平不断提高，球差系数逐渐下降；透射电子显微镜的加速电压不断提高，从80KV、100KV、120KV、200KV、300KV直到1000KV以上；为了获得高亮度且相干性好的照明源，电子枪由早期的发夹式钨灯丝，发展到LaB6单晶灯丝，现在又开发出场发射电子枪。 提高透射电子显微镜分辨率的关键在于物镜制造和上下极靴之间的间隙，由此产生了透射电子显微镜的另一个分支——高分辨透射电子显微镜（HREM）。 球差校正透射电镜 1990年Rose提出用六极校正器校正透镜像差得到无球差电子光学系统的方法。在CM200ST场发射枪200kV透射电镜上增加了这种六极校正器，研制成世界上第一台球差校正电子显微镜。分辨本领由0.24nm提高到0.4 A(埃)。 （双球差校正冷场发射枪透射电子显微镜） 中科院物理所最近购买了JEOL最新款的球差校正透射电镜，配置为物镜球差校正和聚光镜球差校正双球差系统，配置日本电子最新款的100平方毫米超大型电制冷能谱探头，是世界最顶级配置。 1A=0.1nm=10-10m (百亿分之一米)