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材料化学 材料制备化学 例如，四溴化钛是挥发性的，将气态TiBr4与氢气混合，混合气体加热到1300℃，让其通过基质表面。加热陶瓷基质材料如氧化硅或氧化铝，金属卤化物与氢气发生反应形成金属钛的薄膜： TiBr4(g) + H2(g) → Ti(s) + 4HBr(g) 类似的，也可以通过氢气存在下SiCl4在1100-1200℃时的分解形成硅薄膜： SiCl4(g) + H2(g) →Si(s) + 4HCl(g) 氧化硅薄膜是通过H2和CO2存在下于600-900℃热解SiCl4而制得的： SiCl4(g) + H2(g) + CO2 →SiO2(s) + 4HCl(g) +2CO（g） 氮化硅Si3N4薄膜可以通过硅烷SiH4与氨NH3在900-1100℃反应制得： 3SiH4(g) + 4NH3(g) →Si3N4 (s) +12H2(g) 材料化学 材料制备化学 优点:（1）能制备几乎任何几何形态的固体材料 （2）产物的形成不受动力学因素和扩散的 制约，可以在相对低的温度条件下进 行固体合成 （3）产