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材料研究方法 Materials Characterization 作者姓名 学科专业 指导教师 2015年月摘要 关键词: 目 录 摘要 I 第1章 X射线衍射分析原理及应用 1 1.1 X射线物理学基础 1 1.2 X射线衍射原理 1 1.2.1 布拉格方程 1 1.2.2 X射线衍射的方向和强度 1 1.2.3 常见的衍射方法 2 1.3 X射线物相分析 2 1.4 实例分析 3 第2章 透射电子显微分析 4 2.1 透射电镜的结构与原理 4 2.1.1 电子光学系统 4 2.1.2 真空系统 4 2.1.3 供电控制系统 5 2.2 样品的制备与观察 5 2.3 实例分析 6 第3章 扫描电子显微镜（SEM）原理及应用 7 3.1 扫描电镜的工作原理 7 3.2 扫描电镜的特点 7 3.3 实例分析 8 第4章 EDS元素分析原理及其应用 9 4.1 EDS的工作原理及应用 9 4.2 EDS的结构 9 4.3 EDS的分析技术 9 4.4 实例分析 10 第5章 俄歇电子能谱(AES)原理及其应用 12 5.1 俄歇电子能谱仪原理与基本结构 12 5.2 俄歇电子能谱分析 12 5.2.1 样品的制备 12 5.2.2 俄歇电子能谱采样深度 13 5.3 俄歇电子能谱的定性分析 13 5.4 表面元素的半定量分析 14 5.5 实例分析 14 第6章 电子背散射衍射(EBSD)分析原理及其应用 15 6.1 电子背散射衍射(EBSD)原理 15 6.1.1 电子背散射衍射(EBSD)花样 15 6.1.2 EBSD的分辨率 15 6.2 EBSD在材料研究中的应用 16 6.2.1 织构及取向差分析 16 6.2.2 相鉴定及相比计算 16 6.2.3 晶粒尺寸及形状的分析 17 6.2.4 晶界、亚晶及孪晶性质的分析 17 6.2.5 EBSD应变分布测定方法 18 6.3 实例分析 19 第7章 金相显微分析基本原理与应用 20 7.1 金相显微镜的构造 20 7.2 金相显微镜的成像原理, 21 7.3 显微镜的放大倍数 22 7.4 显微镜的鉴别能力（分辨率） 22 7.5 实例分析 23 参考文献 25 X射线衍射分析原理及应用 X射线物理学基础 X射线是一种电磁波具有波粒二象性，不可见，波长在0.001-10nm之间，穿透性强并且具有杀伤作用。0.05-0.25nm的X射线用于晶体衍射分析，我们称之为“软X射线”，这也是本文所要论述的重点。对于0.005-0.01nm的X射线用于透射分析和探伤。通常使用的X射线源为X射线管，这是一种装有阴阳极的真空封闭管，阴极为灯丝，阳极为金属靶，靶材可以选用铜、钼、钨等。当灯丝中通入电流后，如果在阴阳两极之间施加电压，则阴极灯丝所发出的电子流将被加速，以高速撞击到金属阳极靶上，就会产生X射线。 X射线谱包括连续X射线谱和特征X射线谱。不同管压下的连续谱的短波端，都有一个突然截止的极限波长值，称为短波限。X射线的连续谱短波限只与管电压有关，随着管电压增高则连续谱各波长强度都增高，连续谱最高强度所对应的波长和短波限都向短波方向移动。电子能量的绝大部分在与阳极靶撞击时生成热能而损失掉，只有百分之一成为X射线，所以需对X射线管采取有效的冷却措施。X射线特征谱只有在管电压超过一定值时才会产生，而这种谱线的波长与管电压、管电流等工作条件无关，只决定于阳极材料，不同元素制成的阳极材料发出不同波长的谱线，因此称之为特征X射线谱。由莫塞莱定律可以知道尖峰对应的波长λ与靶材的原子序数Z存在严格的对应关系，此规律现在已成为X射线光谱分析法的基础。 X射线衍射原理 布拉格方程 布拉格为克服了劳埃方程在实际使用中的困难，找到既能反映衍射特点，又能方便使用的方程，进行了几点假设，这样晶体被看成了由无数个晶面组成，晶体的衍射看成是某些晶面对X射线的选择反射。当光程差为波长的整数倍，即δ=nλ（n-正整数）时，则在该方向上的散射线满足相干条件，产生干涉现象。由此得到布拉格方程：2dsinФ=nλ。在推导过程中，晶面垂直与否并不影响布拉格方程的推导结果。很显然只有间距大于或者等于X射线半波长的那些干涉面才能参与反射。不同的布拉格角反映了晶胞的形状和大小，从而建立了晶体结构与衍射方向之间的对应关系，通过测定晶体对X射线的衍射方向就可获得晶体结构的相关信息。 X射线衍射的方向和强度 衍射的方向由劳埃方程和布拉格方程决定，布拉格方程本质上是劳埃方程的简化，也是电子衍射的基础。 X射线的衍射方向依赖于晶胞的形状和大小。它解决了X射线衍射的方向问题，但它仅是发生衍射的必要条件，最终能否产生衍射花样还取决于衍射强度，当衍射强度为零或很小时