还原氢化工艺教材一版.docVIP

氢化工艺教材 德方原始工艺描述 STC从罐区供给用蒸气加热的气化器。蒸发之后，气态的STC与电解制氢和9200单元回收的氢混合，体积流率比为一比三。混合后，气态STC和氢混合物供给氢化炉生成TCS。在6bar，1150摄氏度时，大部分STC（70％）依照以下化学式生成TCS和氯化氢。 SiCl4(g) + H2(g) ? HSiCl3(s) + HCl (g) 为了维持STC生成TCS和氯化氢的反应过程，氢化炉里的STC浓度不可以减少。因此STC和氢连续供给氢化炉。排出气体成分包括TCS，STC，氢和氯化氢连续从氢化炉排出，供给排出气体回收单元V9200用来分离和回收排出气体中的各成分。 2，T1100 and T1101: Evaporation of silicon tetrachloride (STC) 每一个气化器按照容器蒸发器设计，配有蒸气加热夹层和蒸气加热U型管束。 饱和蒸气8bar，180摄氏度从蒸气工厂供给加热夹层和每一个气化器的U型管束以便提供足够的热量蒸发STC。 气化器的加热夹层和U型管束同时配有疏水器，用来避免冷凝液溢流。冷凝物从加热夹层和U型管束出来一起供给蒸气工厂各自的冷凝液收集槽。 液体STC供给STC气化器(V1500T1100AB001, V1500T1100AB002, V1500T1101AB001 和 V1500T1101AB002)。气化器里液体STC的液面通过调整STC进入的流量来测量和控制，来维持完全覆盖加热壁，实现最佳蒸发性能。当液位超过最大允许值后，独立的液位安全开关完全关闭STC供应，防止STC溢流到STC气体管道里。 在汽化温度146摄氏度，9bar时，STC汽化供给氢化炉。气化器里的压力通过调整进入的蒸气来测量和控制。当压力超过允许的最大值，压力安全开关可以完全关闭蒸气供应。 STC气体管道电力加热跟踪，防止STC在启动或停车时在管道里凝结。 在关车状态，气化器和连接氢化炉气化器的STC管道系统用氮清扫，消除管道系统和气化器里存在潜在的爆炸性气体混合物。 清扫期间，气体成分包括氮，氢和STC从气化器和管道系统中吹往废气处理单元。 4，T100 and T101: Vent gas (GWR) and off gas (OG) 电解制氢和9200单元回收出来的氢通过管道分配系统来分配，供给反应炉(V1500T100AC001 … V1500T100AC009 and V1500T101AC001 … V1500T101AC009)，也供给测试反应炉(V1500T500AR001和V1500T500AR002). TCS99从罐区供给测试反应炉(V1500T500AR001 和V1500T500AR002)用作质量控制。 测试反应炉V1500T500AR001和 V1500T500AR002的废气包含氢，氯化氢混，TCS，DCS和STC，供给废气处理单元从废气中洗涤氯化氢和氯硅烷。 用氮吹扫反应炉的废气包含氢，氮，氯化氢，TCS，DCS和STC，供给废气处理单元从废气中洗涤氯化氢和氯硅烷。 5，T200 and T201: Vent gas (GWC) and off gas (OG) 电解制氢和9200单元回收出来的氢通过管道分配系统来分配，供给氢化炉。 用氮吹扫氢化炉的废气包含氢，氮，氯化氢，TCS，DCS和STC，供给废气处理单元从废气中洗涤氯化氢和氯硅烷。 氢化炉出来的气体包括氢，氯化氢，TCS，DCS和STC通过收集管450-GWC-1520001-FF18B2供给排出气体回收单元V9200，分离回收排出气体中的每一种气体成分。 所有的排出气体管道配有电加热追踪，以免在管道中凝结或腐蚀尤其是在启动和停车状态。 6，T900: Cooling water circulation system 冷却水循环系统供给CVD反应炉和氢化炉的冷却水是两个不同的温度等级。 较热的冷却水供应温度是130摄氏度，较冷的冷却水供应温度是31摄氏度。冷却水的热量在空气冷却器中用空气和在板式换热器中用冷却水系统的冷却水交换。 反应炉和氢化炉的循环水CWH回流温度大约130摄氏度，收集在循环泵V1500T900AP101A/B / V1500T901AP101A/B的吸入集管。循环泵后的循环水分为两支。CWH的主要部分通过450CWH-1592A06-BD18B1回流给反应炉和氢化炉。第二部分循环水CWC供经过空气冷却器V1500T900AW101 / V1500T901AW101 和板式换热器 V1500T900AW102 / V1500T901AW102，冷却到31摄氏度。经过板式换热器之后冷循环水回流给反应炉和氢化炉。板式换热器的二级供给产品包含供应温度28摄氏度，回流34