刻蚀机tel5简介.pptVIP

TEL 8500 Review TEL 8500 Safety: 本手册包括以下标记和定义，当工作涉及到一些危险。 这些符号表示不同工作中不同水平的的危险和需要的预防措施。 TEL8500 TEL8500 TEL8500 TEL8500-工艺腔 TEL8500 物理干法刻蚀使用离子、电子或光子轰击使材料蒸发而移除。 TEL8500 TEL8500 TEL8500 Indexer Cassette(片架)放置的处，机械手臂从此处取出 Wafer。 TEL8500 TEL8500 TEL8500-Load Lock TEL8500 TEL8500 TEL8500 Handling Arm 机械手臂用于各个工艺腔室间移动wafer。 TEL8500 Handling Arm TEL8500 Controller 这是一种用于控制蚀刻设备 用于控制工艺参数等操作。 TEL8500 TEL8500 PUMP 这是一个排气装置，创造 一个在反应室真空度（工艺室 和后处理室）及其毗邻的传送 装置（负载锁）。 TEL8500 RF Generator 这是一个高频电源装置的 反应室。提供刻蚀机匹配 的电源控制电压。 TEL8500 Dry Air