王晨旭-微电子机械系统项目报告.docxVIP

《微电子机械系统》课程（项目）设计大报告学号名:王晨旭大连东软信息学院电子工程系2016年4月目录1 课程（项目）设计目的12 内容及要求12.1 设计内容12.2 基本要求13 设计基础13.1 背景知识13.2 设计原理24 系统设计25 工艺设计26设计报告总结27参考文献31课程（项目）设计目的综合运用《微电子机械系统》课程知识内容，全面进行MEMS器件设计，包括系统分析，系统设计和工艺设计。达到具备独立进行MEMS器件初级设计的能力。2内容及要求2.1 设计内容：设计一个MEMS单轴加速度传感器，能够感知一维方向上的加速度变化。2.2 基本要求：传感器检测范围：1g ~ 至少2g。检测原理不限，器件结构不限，材料工艺不限。3 设计基础3.1 背景知识最早的微机械加工的应变式加速度传感器的实例之一是Roylance和Angell在1979年制作的器件，用于生物医疗植入，以测量心壁加速度。这个应用要求在100Hz的带宽内灵敏度约为0.01g,且要求小的传感器尺寸。该传感器是由附着在悬臂梁尾端的刚性质量块组成。压阻位于悬臂梁的根部，它是方块电阻为100的P型掺杂电阻。悬臂梁指向〈110〉晶向。3.2 设计原理加速度计的工作原理是依据牛顿第二定律建立的，即质量块在加速度作用下将产生一个相对的惯性力。如果设计一个敏感结构将这个惯性力转换成一个与之相应的变形，则可利用压阻应变计将这一变形检出，以此实现对外界线加速度的测量。4 系统设计4.1结构设计4.2 参数设计整体尺寸：4*4*0.4质量块长（um）：2000质量块宽（um）：2000质量块厚（um）：300悬臂梁长（um）：1000悬臂梁宽（um）:150悬臂梁厚（um）:10硅密度为2300 G:120.6质量块到基底的距离为：250um在给定的加速度下，质量块受的力为：在质量块的整体体积中受到的力是均匀的。但是，为了计算由力产生的力矩，可以假设集中在质量块的中心，则横梁固定承受的力矩可以表示为：轴应变的最大值发生在悬梁根部的上表面，其大小如下：电阻的相对变化为：a=1g时，满足设计要求。5 工艺设计5.1材料选择确定器件每一层结构所采用的材料。第一层金属第二层掺杂电阻第三层硅衬底5.2 工艺流程图5.3 掩模版设计画出工艺流程图中使用的掩模版图形，6设计报告总结在本次项目的设计过程中，遇到了一些困难，像公式中计算时单位混乱导致重算好几遍才将最后的值算对，以及参数的反复设定试验，还是自己在计算中的基本功不够导致此次项目的费时费力。MEMS是集成电路制造工业的一个重要分支，它利用了IC工业的半导体材料、微制造技术、设备及相关的基础设施。MEMS技术领域是许多学科的汇合，包括电子工程、机械工程、材料科学、微纳制造、生命科学、化学工程、土木和环境工程。通过学习这门课程，使我们对IC有了一个新的认知，走进了另一个大门，这是门有趣的课程。7参考文献[1]刘昶 《微机电系统基础》 机械工业出版社，2007[2]张玲等 基于MEMS技术压阻式加速度计的设计 ，2009