华东理工大学概率论7重点.ppt

(2) 半导体陶瓷湿敏元件 半导体陶瓷湿敏原件结构示意图(图 55) 半导体陶瓷湿敏原件结构示意图 湿敏元件 - 安装在一种高致密的、疏水性的陶瓷基片上 电极 ② 和 ③ 四周 - 安置金短路环 以便消除 - 测量电极 ② 和 ③ 之间由吸湿和沾污而引起的漏电 ① 和 ④ - 加热清洗线圈的引出线 半导体陶瓷湿敏元件感湿特性曲线(图 56) 半导体陶瓷湿敏元件的感湿特性曲线 图中列出 - 松下-Ⅰ、松下-Ⅱ、SM-1 型湿敏元件的感湿特性曲线 湿度范围 - 1% - 100% RH 元件阻值范围 - 由湿敏元件 - 多在较为恶劣的气氛中工作 元件上会吸附 - 环境中油雾、粉尘及有害气体 导致元件的有效感湿表面积减小 - 使元件的感湿性能退化 精度降低 - 甚至会导致感湿功能丧失 元件使用过程中 - 需对其进行加热清洗 以便恢复 - 对水汽的吸附能力 SM-1 型湿敏元件在加热清洗时阻值的瞬态变化曲线(图 57) (3) 湿-气多功能传感器元件 - 由 半导体陶瓷为多孔结构 不仅吸附水汽 - 且在高温下某些氧化或还原性气体可以在陶瓷晶粒表面上产生化学吸附 改变 - 陶瓷体的导电能力 这种半导体陶瓷既可测量湿度 - 也可检测某些还原性气体 利用此测量 - 可制成湿-气多功能元件 此种元件结构（图 55 结构相同）的电极材料 - 选用多孔的 平均孔径 - 约 1μm 电极 - 既可用于加热清洗 也可在高温下检测气体时 - 用于对元件进行加热 电极引线为铂(Pt)-铱(Ir)合金 - 基片上也有短路环 用以消除 - 由吸附电解质而造成的漏电 多功能元件的感湿特征量（即电阻值） 随被测湿度的增加 - 而减小 随还原性气体吸附量的增加 - 而增大 还原性气体 - 可以是 硫化氢 氨气 含有羧基、氨基等的有机分子 综上所述 多功能元件 可在 150℃ 的温度下 - 精确地测量相对湿度 也可在 400 ～ 500℃ 温度下 - 检测某些还原性气体的质量分数 (4)湿-温多功能传感器元件 1) 半导体陶瓷器件 多功能敏感原件等效电路图(图 58) 多功能敏感原件等效电路图 C - 元件电容 随环境温度而变化 R - 元件电阻 随待测环境湿度而变化 只要分别测出 - 元件的电容与电阻值 可确定 - 待测的温度和湿度 2) 半导体陶瓷器件 用 半导体陶瓷制成的湿-温多功能器件的结构 - 下图 59 2.多孔 湿敏传感器 多孔氧化物湿敏传感器 大多采用多孔 和多孔 SiO2 湿敏器件 - 作为敏感元件 这类湿敏器件 - 通过控制其多孔氧化物膜的厚度（或其它结构参数） 可制成 - 测量绝对湿度或相对湿度的敏感元件 1)多孔 湿敏传感器 多孔氧化物湿敏器件 - 常分(根据结构形式不同) 片状 棒状 针状 3 种形式的工作机理相同 - 其中片状结构最常见 片状多孔氧化物湿敏器件结构示意图(图 60) 片状多孔氧化物湿敏器件结构示意图 一个平板电容 - 构成 铝质的基板 4 上电极 1 多孔氧化物（此处为 Al2O3）膜 2 以特殊工艺制成的多孔 Al2O3 膜中的气孔形状 近似为 - 细长的圆管 气孔 - 排列均匀 从膜的表面 - 垂直地通到膜的底部 其剖面 - 如下图 多孔 Al2O3 膜的气孔剖面图(图 61) 多孔 Al2O3 膜的电特性等效电路(图 62) 多孔 Al2O3 膜的电特性等效电路 上电极与基板之间的电阻和电容 - 组成 R1 - 气孔内表面电阻，其值取决于吸附在气孔内表面上的水分子的数量 R2 - 气孔下底到基板间的电阻 C2 - 气孔下底与铝基板间的电容 C0 和 R0 - 分别为固态 Al2O3 介质所形成的电容和介质的电阻 图示的等效电路的阻抗 所以 由此 上电极与基板之间的电阻 Rp - 上式中的实数项 Cp - 上式中的虚数项 即 因此 - 不论电容 或电阻 都与 有关 正如前述 - 与气孔内壁所吸附的水分子数量有关 与所感受的湿度有关 因此 - 测得 或 就可确定所感受的湿度 这是 - 多孔 Al2O3 湿敏器件工作的机理 2)硅 MOS 型 Al2O3 湿敏传感