感光性高分子分析.ppt

感光性高分子 感光性高分子是指在吸收了光能后，能在分子内或分子间产生化学、物理变化的一类功能高分子材料。而且这种变化发生后，材料将输出其特有的功能。从广义上讲，按其输出功能，感光性高分子包括光致抗蚀材料、光致诱蚀材料、光致变色材料、光能储存材料、光记录材料、光导电材料、光电转换材料等。 感电子束和感X射线高分子在本质上与感光高分子相似。 光导电材料和光电转换材料归属于导电高分子一类，本章不作介绍。 开发比较成熟并有实用价值的感光性高分子材料主要有光致抗蚀材料和光致诱蚀材料，包括光刻胶、光固化粘合剂、感光油墨、感光涂料等。 半导体电子器件或集成电路的制造中，需要在硅晶体或金属等表面进行选择性的腐蚀，为此，必须把不应腐蚀的部分保护起来，将光刻胶均匀涂布在被加工物体表面，通过对所需加工后的图形进行曝光，由于受光照与未受光照部分发生溶解度的差别，然后用适当溶剂显影，就可得到由光刻胶组成的图形，再用适当腐蚀液除去被加工表面的暴露部分，就形成了所需要的形状，这种刻蚀工艺叫光刻 光致变色高分子的特征： 在光照射时呈现颜色，停止光照后又能 回复原来的颜色。 （1）含甲亚胺结构 （2）含硫卡巴腙结构（如：红色--紫色） （3）含偶氮苯结构 （4）聚联吡