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数字式传感器 现代传感器原理 及应用 现代传感器 鉴 相 法 滑尺激励：正弦和余弦绕组上分别加频率和幅值相同，相位差为π/2的正弦激励电压： 鉴 幅 法 滑尺激励：正弦和余弦绕组上分别加频率和相位相同，但幅值不等的正弦激励电压： 脉冲调宽法 滑尺激励：正弦和余弦绕组上分别加周期性方波电压： 机床的数字控制系统，按控制刀具相对于工件移动的轨迹之不同，可分为点位控制系统和位置随动系统。 点位控制系统 位置随动系统 增量编码器结构示意图 原理：在一定时间T（s）内，对被测信号计数N，则转速： 原理：定时计数器对一定的时基信号t0进行计数，得N，被测信号控制定时计数器的开关，则: 原理：基于测频法原理，内部定时T（N0×t0），对被测信号进行计数。当定时器与被测脉冲同步计数时，将定时做延时调整T+△T，以等待被测脉冲计数完整得N，与此同时，取时间基准计数脉冲计数值Nc，则: 机床导轨位置检测 光栅的外形及结构 光栅的外形及结构（续） 磁栅测量系统 磁栅在磨床测长系统中的应用 直线型容栅传感器结构 调 幅 式 图中A、B为动栅尺上的两组电极片，各由4个小极片组成，P为定栅尺上的电极片，它们之间构成差动电容CA和CB；S1、S2为方波脉冲控制开关，由方波发生器的高低电平控制，轮流将直流参考电压±Ur和测量转换电路的直流输出电压Uo分别接入A、B两组电极片。通过开关S1、S2控制接入A、B两组电极片上的电压，使一个周期内电极片P上所产生的电荷量为零，即： 调 相 式 图中E、R分别为动栅尺上的发射电极和接收电极，发射电极每8片为一组，分别通以8个幅值为Um、角频率为ω、相位依次相差π/4的正弦激励电压；M、S分别为定栅尺上的反射电极和接地的屏蔽电极。当两个栅尺处于相对位置a时，每个发射电极片与反射电极片完全覆盖，所形成的电容量为C0。当两个栅尺相对移动x（x≤l0）而处于位置b时，每个发射电极片与反射电极片不完全覆盖，其电容量将发生变化。则可推知接收电极片电压uR为： 容栅数显测高仪 容栅数显测高仪 数显外径测量台 数显内螺孔深度尺 容栅数显百分表 容栅传感器(Capacitive-Gate Sensor)是一种基于变面积式工作原理，可测大位移的电容式传感器。 结构和类型 容栅式传感器有长容栅和圆容栅两种。 测直线位移的长容栅常用的电极结构有直电极反射式、直电极透射式和反射式L型电极等。 容栅传感器 结构和类型 直电极反射式： 结构：动栅尺上排列一系列尺寸相同、间距为l0的小发射电极片和接收电极，定栅尺上均匀排列一系列尺寸相同、间距为8 l0的反射电极片，动栅尺和定栅尺的电极面相对、平行安装。 容栅传感器 动栅尺 定栅尺 发射电极 接收电极 屏蔽电极 反射电极 图7.48 长容栅传感器的结构原理图 当发射电极片分别以幅值相等、基波相位差45°的激励电压时，通过电容耦合在反射电极片上产生电荷，再通过电容耦合在接收电极上产生电荷输出。 结构和类型 直电极透射式： 结构：直电极透射式结构形式如图7.49所示，由一个开有均匀间隔矩形窗口的金属带和测量装置组成。测量装置的一侧固定一系列小发射电极片，另一侧固定一个接收电极，当金属带随被测位移在测量装置中移动时，发射电极通过金属带上的矩形窗口与接收电极形成耦合电容，其电容量的变化与被测位移成正比，金属带起屏蔽作用。 容栅传感器 1—矩形窗口；2—测量装置；3—金属带； 4—发射电极；5—接收电极 3 2 1 2 3 5 4 (a)外形图 (b)剖面图 图7.49 直电极透射式容栅传感器的结构示意图 结构和类型 反射式L形电极： 结构：反射式L形电极的动栅尺与直电极反射式结构相同，定栅尺的反射电极为L形，如图7.50所示。采用L形电极目的是增大反射电极的面积，增加耦合的电容量，提高传感器的灵敏度，增强抗干扰能力和提高稳定性。 容栅传感器 屏蔽电极 反射电极 图7.50 反射式L形电极 工作原理 长容栅的工作原理：由定栅尺和动栅尺组成，在定栅尺上蚀刻反射电极(也称标尺电极)，在动栅尺上蚀刻发射电极和接收电极，各电极之间相互绝缘。将定栅尺和动栅尺的电极面相对放置，并留有间隙，形成一系列电容器(即容栅)。因此，容栅传感器可看成由多个可变电容器组成。当动栅尺平行于定栅尺移动时，发射电极与反射电极间的相对面积发生变化，导致反射电极上的电荷量产生变化，通过电容耦合和电荷传递，在接收电极上输出的电荷信号为： 容栅传感器 工作原理 圆容栅的工作原理： 结构：圆容栅由旋转容栅和固定容栅组成。固定容栅安装在尺身上，容栅随被测体同轴旋转。 原理：当被测体旋转时，发射电极与反射电极的相互覆盖面积呈周期性变化，反射电极上的电荷量也随之改变，并感应到接收电极上，接收电极上的电荷量与角位移相对应。 反射电极 屏蔽电