微纳米制造技术摩擦学研究..docVIP

摘要 评述了国内外航天、信息和军事等高技术领域中微纳米制造技术的研究现状和发展趋势，介绍了微纳米制造技术特征及其关键技术问题，揭示了当器件的尺度由毫米量级减小到微米甚至纳米量级时，微器件材料表面和界面的摩擦学(摩擦磨损及润滑)、力学和化学等及其控制方法是微/纳米制造研究中急需解决的关键技术问题。这些问题的解决对摩擦学研究提出了严峻挑战，新的摩擦学理论和技术的出现将为微/纳米制造技术的发展以及相关问题的解决提供保障。 关键词:微/纳米制造技术；表面与界面；摩擦学；摩擦学；挑战。 1．国内外研究现状和发展趋势 随着现代科学技术的发展，人们不断追求尺度小且性能完善的微型装置，以适应信息、生物、环境医学、航空航天和灵巧武器等领域的要求。这一发展趋势对于现代制造科学技术的发展具有深远的影响。目前，微纳米制造技术已成为制造业发展的重要方向，是21世纪最具有前景的3大领域和当今世界竞争最激烈、发展最迅速的领域之一。 微/纳米器件中起主导作用的是微纳米电子器件。针对继硅基微电子器件之后将会出现何种纳米电子器件，目前国际上已提出了多种解决方案。其思路基本可分为2种:其一为研究开发最小特征线宽为20~50 nm的器件，作为现有集成电路的进一步微细化，其设计思想基本不变，但在材料、光刻和掺杂等制造要素的原理与工艺方面将会发生较大变化，如有可能使用有机物或聚合物材料，从而制得有机纳米电子器件；其二则与现有微电子原理和工艺完全不同，利用量子效应构成全新的量子结构系统。 国内外有关实验室已在研究各种可能的器件模式，如量子点、量子线、单电子晶体管、单原子开关及自旋电子器件等；而纳米量子结构中波函数工程的提出使得研究者有可能从量子态波函数出发来设计新一代量子器件，开辟了量子相干的电子和光电子新领域。这些研究目前尚处于基本现象发现基本原理探索和基本结构实验阶段，但进展很快。如美国哈佛大学、荷兰Deift大学等用碳纳米管和纳米导线为材料成功制备出了二极管和场效应晶体管；美国加里福尼亚大学伯克利分校和贝尔实验室尝试用几百个原子的晶体制作量子岛；美国加里福尼亚大学洛杉机分校和惠普实验室开展了利用共振隧道效应使有机分子实现“通”、“断”状态转换的实验研究等。这些基础研究显示了下一代电子器件发展的新方向和进入量子化的新阶段。但上述原理性的实验如何才能演变为具有运算功能的电路和器件还有赖于进行一系列由功能原理向制造原理转化的研究。 微电子机械系统(MEMS)是电子与机械相结合的微机电系统，具有微驱动微制动机电微结构集成的特点。在尺度趋向微米、纳米时，小尺度效应产生的问题需要利用新的原理来加以解决。而多能域(电、机械、热、光和化学等)藕合问题在MEMS中更为突出，是与材料特性和制造过程多参数相关的复杂系统问题。 高性能电子器件(HPED)向更小尺度、更高功效的发展既是市场的需要，更是科学自身发展的必然。目前世界范围内针对纳米电子器件和分子电子器件的研究刚起步，以MEMS为核心的微生命系统微惯性系统和微传感系统虽已有产品问世，但由于缺乏MEMS共用元件和技术模式，因此，相应的MEMS器件和技术研究仍有广阔的发展空间。美国半导体工业协会预计：“目前这场采用纳米量子结构的信息技术硬件革命，完全可以与30年前用微电 子集成芯片取代晶体管所引发的那场革命相提并论”。 在微/纳米制造领域，我国在关键制造理论与技术方面已开展了大量研究工作，但由于科技投入力度较弱，整体与国际差距很大。所以我们应及早把握住这一重大科技发展方向，抓住机遇，力争在微纳米制造技术领域的竞争中赢得优势，实现我国由“制造大国”向“制造强国”的转变。 2．微纳米制造技术特征及其对摩擦学挑战 在微/纳米制造技术中，由于制造的特征尺寸(如精度、间隙、表面粗糙度及芯片线宽等)达到纳米量级，结构尺寸有时也达到微米甚至纳米量级，因此出现了一系列新的科学问题。当器件的尺度从1mm减小到1 μ m时，面积减小近1百万倍，而体积减小近10亿倍。此时，正比于面积的摩擦力、粘性力和表面张力等阻力与正比于体积的惯性力和电磁力等相比增大达数千倍。正因为如此，在微纳米器件的设计、制造和使用过程中，发生在表面和界面的摩擦学、热学和化学等行为占据了主导地位，而深入揭示这些表面行为的规律并寻求其有效的控制方法是当前微纳米制造科学和技术函待解决的重要课题一般认为，微纳米制造技术涉及到以下关键共性制造技术。 2 .1微结构制造技术 单位体积或单位面积内功能结构单元的密度往往决定着产品的性能。目前有2种微结构制造方案，即“自上而下”和“自下而上”的方案。“自上而下”技术主要立足于传统的加工方式，通过不断进行技术创新来突破原有的加工极限，以实现微小结构的制造，其代表工艺有光刻技术、微压印技术和离子束刻蚀技术等。以集成电路制造为