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LatchUp的起因,经过,结果(转载节选).
Latch Up的起因,经过,结果(转载 节选)在CMOS制程里,这种情况就是由于npn或pnp结构形成的放大电路造成的。所以要了解latch up现象,就必然首先了解放大电路是如何构成的,而最根本的就归结到npn或pnp晶体管是如何工作的。了解晶体管的工作原理是研究latch up的重点。而解决这一问题的关键又在于了解放大电路是如何构成的,这是两个方面,以下着重讨论。一、晶体管的工作原理?半导体工艺中,由高纯度的本征半导体进行掺杂,从而形成不同的形态。如果掺杂5价原子因电子数大于空穴数即称为n型半导体,若掺杂3价原子因电子数小于空穴数即称为p型半导体。空穴和电子都能搬运电荷,因而称载流子。将两种形态的半导体相邻结合到一起,由于彼此所含电子和空穴数浓度不同,因而相互扩散,由浓度高的向浓度低的地方移动,电子和空穴会在一定时间内相互结合而消失,以保持中性,这样形成一段没有载流子的空间,称为耗尽层。耗尽层存在电位差,有电场的存在,称之为内电场。在电场的作用下载流子发生定向移动,称之为漂移。扩散使电场增加,空间电荷范围加大,而漂移则在减弱空间电荷范围。这种将pn相邻结合到一起制成的晶体结构,称之为pn结。pn结在没有外力的情况下,处于热平衡状态,这种平衡状态是处于动态之中的,即扩散运动与漂移运行达成的平衡状态。pn结的外加电压,如果p端的电位高于n端的电位,这样的外电电场削弱了内电场,有利于多数载流子的扩散,形成从p流向n的电流,称为正向偏置,反之,载流子则几乎不发生移动,称为反向偏置。反向电压大于某一值时,会有导致pn结击穿,称为齐纳击穿或隧道击穿。另一种情况,是pn结两侧的杂质浓度过小,在高的反向电压作用下,引起价键的断裂,从而使电流成倍增加,称为电子雪崩现象或雪崩击穿。pn结制作成元器件使用就是二极管。pn结,p区空穴向n区扩散,n区电子向p区扩散,在相遇处复合。p区空穴扩散后留下负离子,而n区电子扩散后留下正离子,形成由n指向p的内电场。正向偏置时,p区不断提供复合留下的负离子,n区则复合留下的正离子,使得内电场范围缩小,扩散运动大于漂移运动,平衡状态发生破坏,因而有电流的产生。反向偏置,少数载流子的漂移处于优势,但因少数载流子浓度太低,引起的反向电流远小于正向电流。所以问题关键在于扩散与漂移运动是否平衡。半导体三极管,存在两个pn结,了解半导体三极管的工作原理就是要了解这两个pn结的平衡状态,在发生什么变化。这是三极管的符号,B(base)代表基电极,C(collector)代表集电极,E(emitter)代表发射极。晶体管的制作要求,从浓度大小来看,发射区最大,集电区最小。从尺寸看,集电区最大,基区最小。如果条件不能满足,晶体管将无法工作。以下以基极接地(共基极)为例进行分析:如上图所示,在E-B之间加正向偏置,在B-C之间加反向偏置。此时发射区的电子浓度上升,在正向偏置的情况下,大部分电子都扩散到基区因为基区很薄,有少部分电子流出,但大部分在电场的作用下,漂移到集电区。其中有些情况,比如基区向发射区的漂移(发射区很高的杂质浓度),集电区向基区的扩散等微乎其微 (反向偏置),所以可以忽略。所示npn的能够工作,除了发射区浓度很高,基区很薄,还有保证E-B正向偏置,B-C反向偏置。相应电流关系如下:Ie=Ib+Ic。假设Ie占Ic的比例为a,即Ic=aIe,Ib=(1-a)Ie称为电流传输率。Ic/Ib=(Iea)/[(1-a)Ie]=a/(1-a)设定a/(1-a)为β,称为电流放大倍数。通过比例关系可知,如果电流传输率为90%,电流放大9倍。换句话如果电流传输率为99%,电流将放大99倍。 90%到99%,放大倍数的骤增,可以想像Ib只要有小的变动,电流放大倍数就有大的变化。如此可见,晶体管是电流控制器件。二、放大电路是如何构成及触发条件现在进行实际操作,为了分析方便,以如图所示的电路具体进行分析。对应CMOS的简单版图如下:?以下来看一下对应的剖面图。任何相邻的pnp或npn都可以构成晶体管,所以考虑起来似乎比例麻烦!!从晶体管偏置来看,npn的发射区为衬底上的任一n+型区域,集电区为nwell及nwell上的n+。此时npn,基区接vss发射区接vss/in/out,集电区接vdd。就正反偏的原则来看,只要发射区联接电压小于vss,即npn可以触发。而另一边的pnp,基区接vdd,发射区接out/vdd/in,集电区接vss,触发的可能就是发射区电位高于vdd。从浓度与尺寸来看,也就是发射区浓度最高,基区尺寸最小,集电区有足够的大。基区的尺寸在npn管看来,似乎比较乐观,可惜npn的构成是横向的,也就是说如果把pmos与nmos画得太近的话就有问题了。对nwell来说,如果nwell的厚度很薄,因为npn的形成是在
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