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第3章 电容式传感器及应用 引言 电容式传感器是将被测非电量的变化转化为电容变化量的一种传感器。 结构简单、分辨力高、可非接触测量，并能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条件下工作 。 很有发展前途的传感器 。 目录 3.1、电容式传感器工作原理及类型； 3.2、电容式传感器的转换电路； 3.3、电容式传感器的应用； 3.1、电容式传感器工作原理及类型 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为 保持其中两个参数不变，仅改变其中一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。 电容式传感器工作方式可分为变极距式、变面积式和变介质式3种类型。 3.1.3变面积型电容传感器 3.1.1、变面积式电容传感器 面积变化式电容传感器在工作时的极距、介质等保持不变，被测量的变化使其有效作用面积发生改变。 变面积式电容传感器的两个极板中，一个是固定不动的，称为定极板，另一个是可移动的，称为动极板。 面积变化型电容传感器原理 （a）为平板形位移电容传感器。 设两个相同极板的长为b，宽为a，极板间距离为d，当动极板移动x后，电容Cx也随之改变。 电容的相对变化量和灵敏度为 （b）为角位移形式的电容传感器。 当动极板有一角位移时，两极板的相对面积A也发生改变，导致两极板间的电容量发生变化： 推导过程: 其灵敏度为： 是电容与角位移成线性关系。 变面积式电容传感器的输出是线性的，灵敏度K是一常数。 3.1.2、变极距式电容传感器 两极板的有效作用面积及极板间的介质保持不变，则电容量C随极距d按非线性关系变化， 电容值 动极板2未动时传感器初始电容 （ ）。 当动极板2向上移动x值后， 结论分析 当 时 变极距式电容传感器的灵敏度为常数 差动平板式电容传感器 3.1.3 、变介电常数式电容传感器 介质变化型电容传感器的极距、有效作用面积不变，被测量的变化使其极板之间的介质情况发生变化。 主要用来测量两极板之间的介质的某些参数的变化，如介质厚度、介质湿度、液位等。 介质变化型电容传感器结构 电容增量与被测液位的高度成线性关系 。▲▲ K是常数，成线性关系 。 只要测出传感器电容C的大小，就可得到液位hx。 变介质型电容式传感器 平板式 3.2、电容式传感器的测量转换电路 电容传感器将被测量的变化转换成电容的变化后，还需由后接的转换电路将电容的变化进一步转换成电压、电流或频率的变化。 转换电路的组成部分 1．运算放大式电路; 2．交流电桥 ; 3．调频电路; 4．脉冲宽度调制电路 ; 5．二极管双T型交流电桥 ; 3.2.1、 运算放大器 3.2.1、运算放大器式电路 2．交流电桥 将电容传感器的两个电容作为交流电桥的两个桥臂，通过电桥把电容的变化转换成电桥输出电压的变化。电桥通常采用由电阻-电容、电感-电容组成的交流电桥，图3-6为电感-电容电桥。 分析 变压器的两个二次绕组L1、L2与差动电容传感器的两个电容C1、C2作为电桥的4个桥臂，由高频稳幅的交流电源为电桥供电。电桥的输出为一调幅值，经放大、相敏检波、滤波后，获得与被测量变化相对应的输出，最后为仪表显示记录。 3.调频电路 把传感器接入调频振荡器的LC谐振网络中，被测量的变化引起传感器电容的变化，继而导致振荡器谐振频率的变化。频率的变化经过鉴频器转换成电压的变化，经过放大器放大后输出。 4．脉冲宽度调制电路 脉冲宽度调制电路（PWM）是利用传感器的电容充放电使电路输出脉冲的占空比随电容式传感器的电容量变化而变化，然后通过低通滤波器得到对应于被测量变化的直流信号。 3.2.3、脉冲宽度调制电路 C1充电,VF 。当VF Uc时,Q=0,信号反转,Q=1。C1经D1放电。 C2充电,VG 。当VG Uc时,Q=0，Q=1,再次反转。C2经D2放电。 3.2.3、脉冲宽度调制电路 3.2.3、脉冲宽度调制电路 6.2.3、脉冲宽度调制电路 3.3、电容式传感器的应用 电容式传感器不但应用于位移、振动、角度、加速度及荷重等机械量的精密测量，还广泛应用于压力、差压力、液位、料位、湿度、成分含量等参数的测量。 分类 1．电容式接近开关 ; 2．电容式油量表 ; 3．电容式差压传感器 ; 4．电容测厚仪; 1．电容式接近开关 电容式接近开关 工作过程（1） 当没有物体靠近检测极时，检测板与大地间的电容量C非常小，它与电感L构成高品质因数（Q）的LC振荡电路，Q=1/ωCR。 当被检测物体为地电位的导电体时，检测极板对被检测物体电容C增大，LC振荡电路的Q值将下降，导致振荡器停振。 根据输出电压U0