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真空热处理设备 贵州师范大学 真空与等离子热处理炉 真空与等离子热处理设备具有高效、优质、低耗和无污染等一系列优点，是近代热处理设备发展的热点之一。 真空热处理炉的基本类型、性能考核与使用维修； 等离子热处理炉的基本类型、维修与保养； 真空高压气淬炉； 真空渗碳炉。 1、真空热处理炉 真空热处理炉的性能考核 极限真空度的测量 空炉抽空时间的测量 压升率的测量 工作真空度的测量 空炉升温时间的测量 炉温均匀度的测量 真空热处理炉的维修保养 停炉后，炉内需保持在6.65×104Pa以下的真空状态 保持炉内清洁和干燥 零部件拆装应保持清洁和干燥 炉子外表面保持清洁 防止水分、污物进炉内 传动件发现卡位、限位不准及控制失灵时，不要强行操作 传动件定时加油换油 配套件在产品技术说明书进行使用、维修和保养 维修操作在停电情况下进行，保证人员和设备安全 2、等离子热处理炉 等离子热处理炉的维护与保养 电源控制系统 保持清洁 定期检查、调整电压波形 发现辉光严重闪动，调整三相平衡 真空炉体 定期检查供水与排水是否顺畅 及时清理溅射物 及时清理炉壁、阳极上的沉积溅射物和毛刺 定期清理观察窗玻璃上的溅射物 真空泵油使用期限3-6个月 3、真空高压气淬炉 优点： 工件表面质量好 淬火时温度均匀，工件畸变小 淬火强度可控性好 可避免油气污染，环保，简化工序 真空高压气淬优势 提高冷却速度 真空高淬气淬炉最新发展 真空炉启动技术 方式：直接启动软启动器启动 启动过程：A. 停止加热 B. 充气至1000毫巴 C. 低速启动风机 D. 切换至高速 E. 充气至气淬压力 采用LCP启动 启动过程：A. 低速启动气冷风机 B.切换至高速 C. 停止加热 D. 充气至淬火压力 采用LCP启动的优点 大大降低峰值附和的能耗 风机启动消耗低 供电系统投资少 减少冷却时间 对低淬透性钢也有较好的淬火效果 4、真空渗碳炉 低压渗碳存在的问题： 炭黑问题 渗碳均匀性问题 工艺程序制定，过程控制及重复性问题 真空渗碳工艺 真空渗碳设备 单台真空渗碳炉 真空渗碳炉生产线 * * 外热式真空热处理炉、内热式真空热处理炉 炉子结构与加热方式 电阻加热、感应加热、电子束加热、等离子加热 热源 立式炉、卧式炉、组合式炉 炉型 间歇式作业炉、半连续作业炉、连续作业炉 作业性质 低温炉（≤700℃）、 中温炉（700～1000℃）、 高温炉（＞1000℃） 工作温度 低真空炉（1333～1.33×10-1Pa）、 高真空炉（1.33×10-2～1.33×10-4Pa）、 超高真空炉（1.33×10-4Pa以上） 真空度 真空退火炉、真空淬火炉、真空回火炉、真空 渗碳炉、真空钎焊炉、真空烧结炉等 用途 内容 分类方法 表 1 真空热处理炉的基本类型 图 1 气冷真空炉结构 a）内循环气冷真空炉 b） 外循环气冷真空炉 图 2 对流加热的气冷真空炉结构 a) 单循环风扇 b) 双循环风扇 图 3 离子渗碳炉组成 1、冷却水回水管 2、冷却水阀门 3、真空炉体 4、自动空气开关 5、电源控制柜 6、减压阀 7、氢气瓶 8、9、氨气软管 10、阴极导线 图 4 真空加压气淬冷速测定 图 5 φ140mm工件心部的冷却速度 图 6 对流加热的真空高压气淬炉 570A 安装 160kw 3600A 未安装 160kw 启动电流 LCP配置 快冷风机功率 表 2 真空炉快冷风机启动电流比较 （a）一段式 （b）脉冲式 （c）摆动式 *