第六章压电传感器总汇.ppt

* 2008-10-3 * 1、了解压电传感器的工作原理； 2、了解振动的参数； 3、掌握压电测振的原理。 第六章 压电传感器 2008-10-3 * 退出 第一节 压电传感器的工作原理 压电效应——某些电介质在沿一定方向受到外力的作用变形时，由于内部电荷的极化现象，相应地在其表面产生极性相反的电荷；当外力作用消失时，又恢复到不带电状态。当外力方向改变时，电荷极性也随之改变，这种现象就称为压电效应。 逆压电效应——在电介质德极化方向上施加交变电场,它会产生机械变形,当去掉外加电场,电介质变形随之消失,这种现象称为逆压电效应(电致伸缩效应)。 实验表明，压电材料的线应变、剪应变、体积应变都可以引起压电效应，利用这些效应可以制造出感受各种外力的传感元件。 2008-10-3 * 退出 具有压电效应的物质很多，如石英晶体、压电陶瓷、高分子压电材料等。以石英晶体为例，简要说明压电效应的机理。 石英晶体是一种应用广泛的压电晶体。它是二氧化硅单晶，属于六角晶系。 石英晶体有三个晶轴： Z轴-光轴，它与晶体的纵轴线方向一致 x轴-电轴，它通过六面体相对的两个棱线并垂直于光轴 y轴-机械轴，它垂直于两个相对的晶柱棱面。 石英晶体的压电效应 2008-10-3 * 退出 从晶体上沿xyz轴线切下的一片平行六面体的薄片称为晶体切片。它的六个面分别垂直于光轴、电轴和机械轴。通常把垂直于x轴的上下两个面称为x面，把垂直于y轴的面称为y面。如图所示。当沿着x轴对晶片施加力时，将在x面上产生电荷，这种现象称为纵向压电效应。沿着y轴施加力的作用时，电荷仍出现在x面上，这称之为横向压电效应。当沿着z轴方向受力时不产生压电效应。 2008-10-3 * 退出 石英的压电效应解释 石英SiO2，在一个晶体单元中，有三个硅离子 和六个氧离子 。当没有力作用时，硅离子和氧离子在垂直于晶体Z轴的XY平面上的投影恰好等效为正六边形排列，如图a示。这时正负离子正好分布在正六边形的顶角上，呈现电中性。 若沿Y方向压缩，如图c所示，硅离子3和氧离子2，以及硅离子5和氧离子6都向内移动同样的数值，故在电极C和D上不呈现电荷，而在表面A和B上，即在X轴的端面上又呈现电荷，但与图b的极性正好相反，这时称为横向压电效应。在Z轴方向施力时，不能产生压电效应。 如果沿X方向压缩，如图b所示，则硅离子1被挤入氧离子2和6之间，而氧离子4被挤入硅离子3和5之间，结果表面A上呈现负电荷，而在表面B上呈现正电荷。这一现象称为纵向压电效应。 2008-10-3 * 退出 石英晶体的压电效应演示 在晶体的弹性限度内，在x轴方向上施加压力Fx时，在x面上产生的电荷为 Q=d11Fx 式中 d11——压电常数。 当力的方向改变时，电荷的极性随之改变，输出电压的频率与动态力的频率相同；当动态力变为静态力时，电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。 2008-10-3 * 退出 二、压电材料的分类及特性 选用压电材料应考虑以下几方面的问题： 1．转换特性：较大的压电系数，以使压电传感器具有较高的灵敏度； 2．机械特性：较高的强度与刚度，以期获得较宽的线性范围和较高的固有频率； 3．电气特性：较高的电阻率和较大的介电常数，以期削弱外部引线分布电容的影响； 4．温度特性：较高的居里点（压电材料是否具有压电效应的相应温度点），以期获得较宽的温度范围。 应用于压电式传感器中的压电元件材料一般有三类：压电晶体、经过极化处理的压电陶瓷、高分子压电材料。 2008-10-3 * 退出 石英晶体是一种性能良好的压电晶体，它的突出优点是性能非常稳定，介电常数于压电系数的温度稳定性特别好。 具有很大的机械强度和稳定的机械性能，绝缘性能好、动态响应快、线性范围宽、迟滞小等优点。 但石英晶体的压电常数小（d// = 2.31×10-12C/N）,灵敏度低，且价格较贵，所以只在标准传感器、高精度传感器或高温环境下工作的传感器中作为压电元件使用。 石英晶体分为天然 与人造晶体两种。天然石英晶体性能优于人造石英晶体，但天然石英晶体价格较贵。 （一）石英晶体 2008-10-3 * 退出 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 双面镀银并封装 2008-10-3 * 退出 石英晶体振荡器（晶振） 石英晶体在振荡电