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《切片工艺
Confidential Confidential 反 切 片 -蒋旭道 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 切片机介绍 厂家 :日本NTC,瑞士MB和HCT 目前四硅片拥有的切片机是瑞士梅耶博格生产的,分为264切片机(30台)和271切片机(10台),两种切片机主要却别在于其装载量,271大于264. 工作原理:多槽滚轮带动均匀缠绕其上的钢丝作高速运动,钢丝带动黏附的研磨砂对切割工件产生磨削作用,以达到对各类硬脆性工件(如水晶、石英、单晶硅、磁性材料等)进行片状切削的目的。 技术特征:主电机采用伺服电机驱动,研磨砂流量大小采用变频调速控制;高性能编码器将张力瞬时变化转化为角度变化,非别控制收放线轮速度,进而使得重锤在水平位置保持动态平衡,钢丝线得以维持恒定张力;收线系统采用普通调速电机取代伺服电机,PLC通过特定启停控制模式控制电机启停和换向,以使回收侧收线轮上的钢丝均匀紧密排布等。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 切片流程 1.领棒 ?粘棒室内领取固化6h的晶棒 ?检查是否有残胶,晶托螺丝是否拧紧 ?多余导向条去除
④核对晶体编号,填写随工单(随工单为白色普通 随工单和蓝色实验随工单) 注意事项:?晶棒之间不能有残胶 ?晶棒受损情况要与随工单所写一致,若不一致要备 注,负责签字 ?导向条应与端面平齐,表面清洁 具体注意点参见《 东区MB粘棒外观控制点》一文 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 2.上棒 ?清洁过滤网,砂浆帘和线网,保证其能正常使用 ?检查晶棒状况,根据晶棒有无崩边、裂纹确定安装晶棒的位置。如果玻璃板超出晶托,应考虑放在F1和M2位置。 ?将晶棒反转推入升降叉车,提升晶棒,使得叉车前端与切片机工作台高度相同。确认“三点一线”后,将晶棒推进工作台燕尾槽内,并保证线网长度超过晶棒长度 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 夹紧晶棒 上好棒之后先夹紧再松开最后再夹紧 目的:确保晶棒完全夹紧,不至于在切割时由于没夹紧晶棒导致造 成弯曲片。 → ←夹紧过程中晶棒是上下运动 ,往上是夹紧,往下是松开 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 设置零点 ?设置MB系统在手动状态,降低工作台使得导向条切好压到线网平面此时归零 ?重新抬升工作台,保证拉出位置为2mm,即导向条下底面与线网上平面之间距离 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 检查砂浆状态 ?控制开切密度应在1.60-1.63kg/L之间,清洗设备后第一刀密度可 放宽到1.60kg/L。 ?砂浆冷却温度在22℃±2℃。 ?若砂浆量不能满足开切要求则需要打入足量砂浆 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 热机与跳线 ?采用双向走线热机至少10分钟 ?热机过程中,从绕线室的窗口观察收、放线轮的排
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