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河北师范大学 成人教育本科学员毕业论文（设计） 题目： 高真空的测量和应用研究 作者： 范彦彦 学院： 物理学院 专业： 物理学 年级： 2010级 完成日期： 2012 年 10月 4 日 高真空的测量和应用研究 范 彦 彦 摘要高真空技术应用范围很广，主要应用一下几个方面1、原子能工业 核燃料元件制造。2、理化机器工业 电子显微镜、表面分析仪器、质量分析仪器、粒子加速器。 3、金属材料工业 金属蒸镏、钢化脱气、真空感应熔炼、真空电弧熔炼、电子束焊接、真空热处理、真空渗碳、离子氮化、碳氦共渗、真空烧结、真空制粉、真空纳米金属制粉。4、电子电器工业 电子管、真空开关、蒸镀、真空浸渍、真空气相干燥。5、汽车工业 真空热处理、真空钎焊、真空蒸镀。 6、食品工业 真空冷冻干烧、真空浓缩、脱气、真空包装、真空过滤7、建筑工业 混凝土真空吸水软吹盘、真空吸盘。 1 引言 1 2 真空技术的基础知识 1 3 高真空的获得——真空泵 2 3.1 机械泵的工作原理 2 3.2 油扩散泵的结构与工作原理 4 4 高真空的测量——真空计 5 4.1 温差电偶真空计的原理 5 4.2 热阴极电离真空计的原理 6 5 真空计的检漏与系统密封 6 6 高真空的应用 7 6.1 真空包装 7 6.2 太空制药 8 6.3 真空镀膜 8 6.3.1蒸发镀膜 8 6.3.2溅射镀膜 9 结论 10 参考文献 12 1 引言 真空作为一门交叉性极强的学科，其应用领域已经渗透到包括机械、电子、生物工程、材料科学、表面科学等各行各业之中。特别是近年来，一些新兴技术的飞速发展，给真空技术提供了越来越广阔的应用舞台。随着工业生产和科学研究上小到真空吸盘，大到高能粒子加速器都要涉及真空的概念及技术通过分析影响真空度的主要因素及其影响规律针对不同的影响因素提出各自有利真空获取和维持的解决方案并将各措施具体地与抽真空工艺过程控制各环节相匹配从而制定出较为科学的现行抽真空工艺流程 通常所说的“真空”并不空，里面存在一定浓度的气体分子，因此，可以按气体浓度的大小来表示“真空”的程度。但是，多数情况下直接用浓度表示真空稀薄的程度不方便，而是用气压来表示真空 度，气压的单位是帕，用符号表示为Pa，lPa=lN/m2，latm=1.013×105Pa就物理现象来说粗真空以分子相互碰撞为主低真空中分子相互碰撞和分子与器壁碰撞不相上下高真空主要是分子与器壁碰撞超高真空下分子碰撞器壁的次数减少而形成一个单分子层的时间已达到数分钟以上极高真空时分子数目极为稀少以致统计涨落现象比较严重（大于5%）经典统计规律产生了偏差用来获得真空的器械简称为真空泵。各级真空均可通过各种真空泵来获得目前真空泵可分为两种外排型和内吸型所谓外排型是指将气体排出泵体之外，如旋片式机械泵、扩散泵和分子泵等内吸型是指将气体吸附在泵体之内的某一固体表面上，如吸附泵离子泵和冷凝泵等但无论何种泵，都不可能在整个真空范围内工作，图标出了它们适的工作范围从图中可以看出，有些泵可直接从大气压下开始工作，但极限真空度都不高，如机械泵和吸附泵，通常这类泵用作前级泵；而有些泵则只能在一定的预备真空条件下才能开始正常工作，如扩散泵、离子泵等，这类泵需要前级泵配合，可作为高真空泵105~10-1 压缩真空计 104~10-2 热传导真空计 102~10-1 真空电离计 102~10-4 宽量程电离真空计 10-1~10-8 3.1 温差电偶真空计的原理 温差电偶真空规管由玻璃制成通过小管8 和真空系统相接如图所示在规管内的两根引线上装有热丝3另外两根引线上焊着一对温差电偶4温差电偶的另一端与热丝在A点焊接。由于在低压下气体的热传导系数与压强成正比所以在通过热丝的电流( 90～150 mA)一定的条件下热丝的温度随着规管内真空度的提高而升高温差电偶电动势也就随之而增大。因此通过测量温差电偶电动势就可确定出被测系统的真空度温差电偶真空计就是根据这个原理制成的。温差电偶真空计的测量范围1～5×10-2 Pa。电离真空规管就是一只三极管如图所示通过B管与真空系统相接使用时在灯丝电路中通以电流5mA灯丝受热后便发射电子由于栅极为正电压使电子加速中途与气体分子相碰气体的密度越大碰撞机会越大产生的正离子也越多。另外由于板极电压为负便吸引正离子在板极电路中形成板极电流I气体分子密度越大( 即压强越大)板极电流也越大反之就小所以通过测量板极电流便可以确定气体的压强热阴极电离真空计就是根据这个原理制成的。热阴极电离真空计测量范围为1×10-2～1×10-5 Pa10-