直圆柔性铰链加工注意事项.docVIP

柔性铰链利用了金属微小弹性变形和回复特性， 是一种微定位的高分辨率传动机构。由于是一体化 加工成型，所以具有无机械摩擦、无配合空程、无需润 滑、运动灵敏度高等特点，广泛应用于各类微调装 置、精密定位平台、光刻技术和扫描探测显微镜 等。 对天盛柔性铰链工作性能产生影响的因素是多方面 的，设计柔性铰链时会有一些前提假设，如假设仅在 铰链处产生弹性变形，其余部分视作刚体；在工作时 假设只产生转角变形，无伸缩和其他变形。而铰链本 身存在一些固有缺陷，比如转动中心不固定、应力集 中、应力大小随关节位置变化、环境对材料的影响 等。在结构设计中往往是几个铰链和连杆 之间相互组合，组合之间的加工误差都会带来转角和 直线的耦合位移，这些都会导致其运动偏离理想轨 迹。有文献综合性的对柔性铰链 机构误差源进行分析，对材料性能、尺寸设计、振动干 扰、加工误差等方面进行探讨。文献给出了单平 行四边形位移结构的旋转耦合公式。文献用多 变量泰勒级数把理想刚度公式展开，定性的分析每个 变量误差对柔性铰链的敏感性。文献用有限元方法对位移机构进行仿真，得到柔性铰 链制造误差引起的机构位移耦合，但是都只针对一种 机构，所得结果有局限性。 本文中我们针对直圆柔性铰链形成的梁构件，分 析直圆柔性铰链的３种加工误差，推导存在误差时的 刚度计算公式，利用数值积分和多项式拟合方法，得 到在不同铰链参数ｔ／Ｒ 下的无量纲刚度误差公