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球杆仪测量误差方法研究 1100209028 杨漪 随着科学技术的发展，测量技术和测量工具长足的进步。从原始的目测、步测法到后来的米尺、游标卡尺、千分尺等测量法，再到应变片、电流电压感应等测量法，电磁相干和相位测量，光栅测量到现在的激光测量。 DBB-Double ball bar）是ISO230-4中所推荐的一种方法。1982年，J. B. Bryan在美国Lawrence Livermore 国家实验室，首先开发出了用于快速检测数控数控机床运动误差的球杆仪。 如图1所示，球杆仪是由一根轴向可伸缩的杆和两个安装在磁性球座上的高精度的金属球（球度误差小于0.05μm）组成。两个高精度球通过内装强力磁铁的磁性球座分别与工作台和主轴端部相联。高精度球与磁性球座之间是三点接触，保证灵活转动。可伸缩杆上安装着可记录伸长量的位移测量装置用于精确测量沿连杆方向的长度变化。当与主轴相联的球以与工作台相联的高精度球为回转中心，跟着数控机床做作插补运动时，连杆方向的长度变化量就被精确地记录下来。 球杆仪从它的连杆长度变化范围可分为：微位移球杆仪和伸缩式球杆仪。微位移球杆仪一般是利用线性位移传感器（LVDT）检测位移变化量的，连杆长度变化范围比较小，一般应用于测量数控机床作圆弧插补运动时的半径变化量。而伸缩式球杆仪一般采用激光干涉仪来记录沿连杆方向的长度变化，因而其连杆长度变化范围要比微位移球杆仪大得多。比较典型的微位移球杆仪有：雷尼绍公司生产的串行球杆仪系统，其测量范围为±1μm；PC卡球杆仪系统，其测量范围为±2.5μm。激光球杆仪是一种典型的伸缩式球杆仪，其最初是由美国佛罗里达大学的Zigert和Mize发明的，其连杆长度可在275mm到660mm范围内变化。球杆仪既可检测机床的几何误差，也可通过从冷态到热态多次检测进行热误差的检测。本文主要讨论机床热误差的微位移球杆仪检测法。 球杆仪检测数据处理的过程如图2所示。为了保证测量轨迹半径的绝对长度，在利用球杆仪进行测量前要利用校准器进行球杆仪长度（包括安装的加长棒）的校准。在两个金属球之间距离的变化由线性位移传感器LVDT读出，通过模数转换后输入计算机进行处理，然后将相对于基圆的偏移量作为误差进行误差图的绘制。 在一般的情况下，旋转角是通过计算机的采样时间和机床作圆周插补运动时的圆周方向进给速度来进行计算得到的，而不是通过角度测量仪直接进行检测。因为角度测量仪会使球杆仪的结构变得复杂，并有可能造成在三维的铰球座里金属球的旋转不便。连接到主轴上的球座一般是用卡盘和刀具夹持器进行固定的，在利用球杆仪进行检测的过程中，虽然并不要求主轴的中心和金属球的中心完全一致，但必须保证在检测时主轴不转动，因为主轴的转动将直接造成径向的误差。 球杆仪作为一种高精密的测量仪器。影响其检测精度的系统因素如下： 1. 金属球的球度和球座的圆度。球杆仪两端的金属球一般是由轴承钢制成的，直径一般为25.4mm。这两个金属球的精度非常高，球度误差小于0.05μm。球座的圆度误差要求小于0.1μm。 2. 线性位移传感器的测量精度。雷尼绍（Renishaw）公司生产的球杆仪，有串行球杆仪和PC卡球杆仪两种规格，其位移传感器的分辨率皆为0.1μm。连杆是用受热时线膨胀系数很小的钢制成的，因此在环境温度变化时，沿连杆方向的长度变化几乎可以不计。对于激光球杆仪，位移传感器采用光栅，从而提高了检测精度。 3. 金属球在球座中的旋转精度。 4. 球座和金属球之间的磁性引力。 5. 由于仪器部件重量而引起的检测误差。当球杆仪在竖直平面内进行检测时，仪器部件本身的重力对检测精度造成一定的影响。当主轴一端的金属球在与工作台相连的金属球的上方时，仪器部件的重力产生压应力，使连杆方向长度缩短；反之仪器部件产生的拉应力使连杆方向长度伸长，从而影响检测的精度。 下面我们讨论如何利用球杆仪进行数控机床的热误差检测。球杆仪的安装位置如图3（a）所示，它的一端固连在工作台面上，另一端与主轴端部相联。当数控机床做插补运动时，与主轴相联的一端相对于与工作台相联的一端作圆运动。 由图3(b)可得： (1) 此公式即为利用球杆仪进行机床误差检测的基本公式，反映了球杆仪的长度变化和机床空间误差的关系。其中： ——球杆仪沿连杆方向的长度变化。 ——检测中心到球杆仪与主轴相联一端的位移矢量。 或——机床空间误差。 当在冷态下（假设200C）利用球杆仪进行误差检测时，机床的热误差为零。是由机床的几何误差造成的空间误差，式(１)变为：