真空晶圓输送机械手臂之动态分析及模式建立.docVIP

真空晶圆输送机械手臂之动态分析及模式建立 游钦宏*, 钟文仁*, 黄昆峰, 刘宗扬*, 梁仁泽* *中原大学机械工程研究所 中坜市普忠里普仁22号工学516室 中山科学研究院第二研究所 桃园龙潭邮政90008-15-15号信箱 摘要: 本文针对位在集束型设备中真空输送腔体内的晶圆输送机械手臂作动态分析及模式建立。由于真空环境的需求，使得容易产生污染源的致动器必须隔离在真空腔体之外，而以传动的方式驱动机械手臂手端做直线运动。传动机构由一组皮带轮与皮带所构成，然而因为皮带本身的弹性问题，将会对手臂的运动造成影响，因此分别对考虑皮带弹性前后的机械手臂作动态分析并建立其动态模式。而一完整的机械手臂系统乃是由各个模块所组合而成，因此亦详细地分析各个模块的动态模式包含在驱动器与手臂间及手臂关节中所可能产生的摩擦力模块、DC伺服马达驱动模块以及在驱动马达及手臂之间的谐和减速机减速机构模块。并将考虑皮带传动机构后的手臂模块与各个模块加以整合，以建立能够真实表现手臂运动情形的动态模式。最后利用MATLAB软件中的Simulink功能对每个动态模式加以仿真，以观察手臂运动的情形并探讨各个模块对于手臂运动所造成的影响。 关键词: 集束型设备，机械手臂，MATLAB，Simulink。 前言 在半导体的前段制程中，晶圆(Wafer)的制作必须经过多个程序，且生产的过程中必须维持在高度无尘、真空的环境下。基于要减少晶圆表面污染、降低设备成本及降低生产周期以提升产能等的因素，集束型制程设备(Cluster Tools)的运用，将成为半导体前段制程设备主要发展趋势。集束型设备中机械手臂扮演着重要的角色，它负责晶圆在各个模块间传输的动作。为了确保晶圆不会受到粒子的污染，因此集束型制程设备真空腔体所要求的是10-8Torr的真空环境。所以在真空腔体中的真空机械手臂必须要具备良好的防尘系统，并且为了避免机械手臂的致动器产生粒子污染源，故必须将致动器隔绝于真空环境之外，以传动的方式驱动各节手臂的运动。 真空机械手臂之动态分析及模式建立 2.1 真空机械手臂的构造 本文中所选择分析的机械手臂属SCARA形式三关节机构。由于真空机械手臂考虑污染的问题，因此须将驱动手臂的马达置于真空主腔体之外，借着皮带及皮带轮的传动将动力源传送至真空中的各节手臂。由于制程模块与主腔体间的开口与晶圆尺寸极为相近，因此须要求手臂能直线运动通过制程模块的开口。经由证明三轴手臂在一定的关系下，藉传动使手端与手臂路径维持直线运动条件为第一轴与第二轴手臂等长且三轴转动角度比为。 2.2 未考虑皮带弹性机械手臂动态模块的建立 忽略皮带弹性对手臂运动可能带来的影响，建立手臂动态模块的方式为分别计算三个组件产生的动能，以Lagrange’s Equation推导手臂之动态方程式。 第一轴手臂动能： (2-2-1) 第二轴手臂动能： (2-2-2) 第三轴手臂动能 (2-2-3) 假设致动器输出的力矩能完全传递到第一轴手臂。 且 (2-2-4) 且 (2-2-5) 将式(2-2-2)及式(2-2-3)整理简化成 (2-2-6) (2-2-7) 在未考虑皮带弹性下，机械手臂的动态方程式 (2-2-8) 其中、、分别表手臂在起始时三轴的角度。 2.3 考虑皮带弹性机械手臂动态模块的建立 由于皮带为一线性弹性体，张力与皮带的伸长量呈正比关系。皮带与皮带轮的组成结构如图2-1。假设皮带在加入惰轮前上方长度为，下方长度为；经由惰轮将皮带张紧之后，上方长度形成，下方长度为。可以得到皮带初始弹性位能 (2-3-1) 图2-1 皮带及皮带轮结构示意图 当大皮带轮旋转角度，小皮带轮则反方向旋转角度，假设上方皮带伸长，下方皮带缩短，弹性位能改变成 (2-3-2) 由式(2-3-1)及式(2-3-2)，假设皮带上下长度约相等，可分别得知第一轴及第二轴手臂损失的能量为 (2-3-3) (2-3-4) 经Lagrange’s Equation运算可得手臂的动态方程式 (2-3-5) 2.4 考虑摩擦力后手臂动态模块 马达输出端和第一轴手臂间及在各轴关节处皮带和皮带轮间均可能有摩擦力产生。表示式如下： 当角速度()为正时 当趋近于0时 (2-4-1) 当大于0时 (2-4-2) 当角速度()为负时 当趋近于0时 (2-4-3) 当小于0时 (2-4-4) 上式中为静摩擦力力矩，为动摩擦力力矩，为黏滞摩擦系数， 值为一常数。根据上述所建立的摩擦力模块如图2-2所示。 图2-2 摩擦力模型图 手臂在考虑皮带