《脉冲电镀的含义.docVIP

?????脉冲电镀的含义 1 概述??????? 脉冲电镀是槽外控制金属电沉积的一个强有力的手段。它利用时间功能通过改变脉冲参数来改善镀层的物理化学性能，从而达到节约贵金属和获得功能性镀层的目的。脉冲电镀属于一种调制电流电镀，它所使用的电流是一个起伏或通断的直流冲击电流，所以，脉冲电镀实质上是一种通断直流电镀。脉冲电流的波形有多种，常见的有方波、三角波、锯齿波、阶梯波（图1）等。但就目前的应用情况来看，典型脉冲电源产生的方波脉冲电流被普遍采用。因此，对脉冲电镀的研究一般都是围绕着方波进行的。 ??????????????? 图1? 常见的几种脉冲波形 ??? a.方波??? b.三角波?? c.锯齿波??? d.阶梯波?????? ??????? 2 调制电流电镀??????? 传统的电镀采用的电流形式一般为直流电流，简称DC。直流电流是一种电流方向不随时间改变的、连续的平稳电流。直流电流常见的波形有单相半波、单相全波、三相半波、三相全波、直流或稳恒电流（图2）等，产生这些波形常用的电源有硅整流器、可控硅整流器、高频开关电源等。从图2中不难看出，直流电流具有连续性或持续性，不随时间的改变而中断或有所变化，因而使用时只有一个参数——电流或电压可供调节。这就使得直流电流在做为槽外控制镀层质量的手段时力量不足。比如直流电流在提高阴极电流密度、抑制副反应的产生、降低镀层中杂质的含量、改善电流分布等方面均毫无作用。 ???????????????????????? 图2? 常见的直流电流波形 a.单相半波? b.单相全波? c.三相半波? d.三相全波? e.直流或稳恒电流??????? ??????? 经脉冲信号或其它交变信号调制以后的直流电流叫调制电流，用调制电流所进行的电镀即调制电流电镀。调制电流电镀主要是做为槽外控制镀层质量的手段而产生和存在的，它往往可以起到直流电镀所起不到的作用。比如，脉冲电镀比直流电镀阴极电流密度提高几倍甚至十几倍，因而可得到结晶细致的镀层。调制电流电镀一般有脉冲电镀、不对称交流电镀、交直流叠加电镀、周期换向直流电镀（图3）等几种形式。 ?????????????????? 图3? 常见的几种调制电流波形 ?a.不对称交流? b.交直流叠加? c.周期换向直流? d.方波交流电?????????????????????????? 脉冲电镀所使用的电流实际就是一个通断直流电，不过这个直流电在导通的时候峰值电流相当于普通直流电流的几倍甚至十几倍，正是这个瞬时高电流密度使金属离子在极高的过电位下还原，从而使沉积层晶粒变细。脉冲电镀广泛应用于电子工业的电子电路、接插件、印制电路、集成电路框架、晶体管管座等的电镀，可大大提高这些电子器件的产品性能，并可大幅度节约贵金属。脉冲电镀是目前应用最多且收益最大的一种调制电流电镀。???????? 3 脉冲的含义???? ?? 脉冲这个词，从字面上看，“脉”含有“脉动”、“起伏”的意思，“冲”含有“冲击”、“短促”的意思，原本是指无线电技术中作用时间很短而间隔时间又较长的电压或电流波形，或者是指电工电子技术中的一种间歇信号。但脉冲的概念在电镀技术中却有着不同的说法。从脉冲的含义上看，脉冲电流应该是一个起伏或通断的、离散式的、非连续的直流冲击电流，如方波、三角波、锯齿波等脉冲电流。若不符合此含义则不应属于脉冲的范畴，如不对称交流等调制电流。?????? ??????? 但谐波激励的观点认为，任何一个周期脉冲，都是由各种不同频率的正弦波，按不同的振幅与相位叠加而成的。从这个意义上讲，不对称交流等调制电流也是一种脉冲电流，他们所进行的电镀也均属于脉冲电镀的范畴。从谐波分析的角度看，这个观点是完全正确的。脉冲供电为镀槽提供了丰富的谐波电流分量，这种暂态的谐波激励影响着电极过程，构成了脉冲电镀的实质。但是，从脉冲的含义上分析，却怎么也无法将不对称交流电镀等与脉冲电镀划上等号。如果将脉冲的通断电流定义为正向电流之后紧接着一个反向电流，或者将反向电流的持续时间说成是脉冲的关断期，则未免有些牵强附会。因此，尽管认同不对称交流电镀等确实属于脉冲电镀的范畴，但也只能从谐波激励的角度去谈，而不能曲解某些定义去应和脉冲的含义。脉冲，就是一种通断电，通的时候幅度大时间短，断的时候电流为零或者说是一种停止，而不应是一种阳极过程。笔者并非有意要将不对称交流等调制电流电镀排除在脉冲电镀之外，其实，到底怎么划分它们并不重要，重要的是怎样才能使这些特殊的电镀技术更利于自身的发展，更利于生产中的应用。如果将不对称电流电镀等与脉冲电镀并列为调制电流电镀的一种形式，则会更利于对脉冲电镀常规的理解和认识，更利于脉冲电镀技术在实际生产中的进一步推广和应用。?????? ?????