基于MC算法的三维重建，布尔运算和文件输出.docVIP

基于MC算法的MEMS光刻仿真的三维重建方法研究 王晓东, 范明聪, 沈连婠 中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系,合肥 230027 摘 要: 以MC（marching cubes）算法为基础，提出了一种补全重建后生成的三维形体表面出现空洞的方法，使用该方法进行三维重建生成的三维形体具有完整的外表面和良好的可视化效果。提出了一种三维重建时对多个形体进行布尔运算的新方法，该方法以MC算法为基础，将三维重建和布尔运算相结合，可以简单、方便、高效的进行三维重建时的布尔运算。另外还介绍了三维重建后生成的三维形体的文件输出格式。 关键词: marching cubes；三维重建；空洞补全；布尔运算；文件输出 文献标示码: A 中图分类号: TP301.6 3D Reconstruction, Boolean Operation and File Export based on MC Algorithm WANG Xiao-dong, FAN Ming-cong, SHEN Lian-guan Department of Precision Machinery and Precision Instrumentation, University of Science and Technology of China, Hefei 230027, China Abstract: Based on MC (marching Cubes) algorithm, this paper applied a method that can cap holes in the object surfaces generated by 3D reconstruction. The object generated by this method has complete outer surfaces and good visual effects. This paper applied a new method that can do Boolean operations between several objects in 3D reconstruction, the method bases on MC algorithm, combines 3D reconstruction and Boolean operation, can simply, conveniently and efficiently do Boolean operation in 3D reconstruction. This paper also introduced file export format for objects generated by 3D reconstruction. Keywords: marching cubes; 3D reconstruction; cap holes; Boolean operation; file export 1 引言 自20世纪90年代以来，综合了计算机图像处理与分析、真实感计算机图形学、虚拟现实等技术的三维重建和可视化技术一直是国内外研究与应用的热点。三维重建通过处理二维图像序列或者三维数据点云，生成三维形体，使重建后的三维形体能真实地再现物体的表面轮廓，改善可视化的质量。[1,2] 我们开发的MEMS（Micro Electromechanical System，即微电子机械系统）光刻仿真软件大量应用了三维重建与可视化技术，用来显示MEMS器件的立体图形和仿真运算结果。软件的系统结构如图1所示：对掩膜图形进行光学计算，得到理想的MEMS器件立体图形和光刻胶内部的光强分布；对光刻胶内部的光强分布数据进行三维重建，得到MEMS器件的仿真立体图形；理想的MEMS器件立体图形和MEMS器件的仿真图形进行布尔运算，可以求出两者之间的形状误差。可见软件重点包含了两个模块，即光学计算模块和可视化模块，可视化模块重点实现了三维重建和布尔运算的功能。MC（Marching Cubes，移动立方体）算法是三维重建中构造等值面的方法里最具代表性的方法之一，在软件的可视化模块中，我们就是以MC算法为基础，来实现三维重建和布尔运算功能的。 图1 MEMS光刻仿真软件的系统结构 MC算法主要用来绘制等值面，当等值面与数据场边界相交时，重建生成的三维形体外表面在数据场边界处会产生空洞，我们提出了一种可以将这些空洞补全的方法，使用该方法进行三维重建生成的三维形体具有完整的外表面和良好的可视化效果。在三维重建的过程中，我们提出了一种以MC算法为基础，可以对多个物体进行布尔运算的新方法，该方法以MC算法为基础，将三维重建和布尔运算相