反应磁控溅射-材料物理实验教学示范中心.ppt

薄膜材料与技术 主讲：邹友生材料科学与工程系 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 实验一 反应磁控溅射方法制备ZnO薄膜实验 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 一、实验目的 二、实验内容 三、实验仪器设备和材料 四、实验原理 五、实验方法和步骤 六、实验报告要求 七、实验注意事项 八、思考题 提纲： Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 一、实验目的 （１）通过本实验使学生了解真空泵的使用方法和真空计的测量原理。 （２）使学生了解并熟悉磁控溅射镀膜系统的结构和使用方法。 （３）掌握磁控溅射镀膜的工艺原理及在基片上沉积ZnO薄膜的工艺过程。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 二、实验内容 （１）基片的清洗。 （２）低真空和高真空的获得与测量，使用真空计进行真空的跟 踪测量。 （３）设定实验工艺参数、利用反应磁控溅射方法制备ZnO薄膜。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 三、实验仪器设备和材料 ２、实验设备： （１）超声清洗器； （２）高真空磁控溅射镀膜系统。 １、试样： 玻璃和硅基片、氩气、氧气、Zn靶、丙酮、酒精。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. （１）超声波清洗机： 超声波工作时间可调； 清洗温度在20-80范围可调，可恒温控制溶液温度； 工作频率：42000Hz 功率：200W ?HB-1990QT型 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 超声波清洗时，在超声波的作用下，机械振动传到清洗液中，使清洗液体内交替出现疏密相间的振动，液体不断受到拉伸和压缩。疏的地方受到拉伸，形成微气泡(空穴)；密的地方受到压缩。由于清洗液内部受超声波的振动而频繁地拉伸和压缩，其结果使微气泡不断地产生和不断地破裂。微气泡破裂时，周围的清洗液以巨大的速度从各个方向伸向气泡的中心，产生水击。这种现象可以通过肉眼直接观察到，即在清洗液中可以看到有剧烈活动的气泡，而且清洗液上下对流。此时若将手指浸入清洗液中，则有强烈针刺的感觉。上述这种现象称为超声空化作用。　　在超声空化作用一定时间后，被清洗件上的污垢逐渐脱落(当然也有清洗液本身的作用在内)，这就是超声波清洗的基本原理。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. （２）溅射镀膜沉积系统： Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. ①溅射真空室组件： 真空室（不锈钢材料制造、氩弧焊接、表面进行化学抛光处理），真空室组件上焊有各种规格的法兰接口。 ②溅射靶组件 ： 锌靶材数量，靶内有水冷，电动控制挡板组件，靶配有屏蔽罩 ③基片水冷加热台组件： 基片尺寸、基片加热温度、基片回转、基片加负偏压 ④工作气路： 质量流量控制器、进