集成電路工艺项目实训报告任务书.docVIP

目录 第一章 Silvaco TCAD软件的基本知识与使用 2 1.1 Silvaco TCAD软件的基本知识 2 1.2 Silvaco TCAD软件的使用 2 1.3 Silvaco TCAD软件的主要组件 3 第二章 NMOS基本结构、工艺流程及工作原理 4 2.1 NMOS的基本结构 4 2.2 NMOS的工艺流程 4 2.3 NMOS的工作原理 5 第三章 NMOS工艺、器件仿真流程 7 3.1 工艺仿真流程 7 3.2 参数不同时工艺和器件结果分析 7 第四章 实训总结 11 参考文献： 12 附录：原程序 13 第一章 Silvaco TCAD软件的基本知识与使用 1.1 Silvaco TCAD软件的基本知识 TCAD就是Technology Computer Aided Design，指半导体工艺模拟以及器件模拟工具，世界上商用的TGAD工具有Silvaco公司的Athena和Atlas，Synopsys公司的TSupprem和Medici以及ISE公司（已经被Synopsys公司收购)的Dios和Dessis。Synopsys公司最新发布的TCAD工具命名为Sentaurus。 Silvaco名称是由三部分组成的，即“Sil”，“va”和“co”，从字面上不难理解到时“硅”，“谷”和“公司”英文单词的前几个字母的组合。Silvaco的中文名称叫矽谷科技公司。 来自美国的矽谷科技公司经过20多年来的成长与发展，现已成为众多领域卓有建树的EDA公司，包括TCAD工艺和器件模拟、Spice参数提取、高速精确电路仿真、全定制IC设计与验证等。Silvaco拥有包括芯片厂、晶圆厂、IC设计企业、IC材料业者、ASIC业者、大学和研究中心等在内的庞大的国内外客户群。现今，Silvaco已在全球设立了12间分公司以提供更好的客户服务和合作机会。 Silvaco是现今市场上唯一能够提供给Foundry最完整的解决方案和IC软件厂商。提供TCAD，Modelling以及EDA前端和后端的支持，也能提供完整的Analog DesignFlow给IC设计业者。产品SmartSpice是当今公认的模拟软件的黄金标准，因为支持多集成CPU 的SmartSpice的仿真速度比起同类型软件更好，它是国外模拟设计师的最爱：SmartSpice的收敛性也被公认为仿真器最好的。 1.2 Silvaco TCAD软件的使用 Silvaco TCAD用来模拟半导体器件电学性能，进行半导体工艺流程仿真，还可以与其它EDA工具组合起来使用(比如spice)，进行系统级电学模拟。 SivacoTCAD为图形用户界面，直接从界面选择输入程序语句，非常易于操作。 其例子教程直接调用装载并运行，是例子库最丰富的TCAD软件之一。 SilvacoTCAD平台包括：工艺仿真(ATHENA) 器件仿真(ATLAS) 快速器件仿真(Mercury) 1.3 Silvaco TCAD软件的主要组件 (1).DeckBuild (2).TonyPlot可视化工具 (3).ATHENA (4).ATLAS (5).DevEdit2D/3D结构和Mesh编辑器 (6).掩膜输出编辑器 第二章 NMOS基本结构、工艺流程及工作原理 2.1 NMOS的基本结构 NMOS（Negative channel-Metal-Oxide-Semiconductor，N型金属氧化物半导体）。 在一块掺杂浓度较低的P型硅衬底（提供大量可以动空穴）上，制作两个高掺杂浓度的N+区(N+区域中有大量为电流流动提供自由电子的电子源)，并用金属铝引出两个电极，分别作漏极D和源极S。然后在半导体表面覆盖一层很薄的二氧化硅(SiO2)绝缘层，在漏——源极间的绝缘层上再装上一个铝电极（通常是多晶硅）,作为栅极G。在衬底上也引出一个电极B，这就构成了一个N沟道增强型MOS管。MOS管的源极和衬底通常是接在一起的(大多数管子在出厂前已连接好)。它的栅极与其它电极间是绝缘的。 NMOS集成电路是N沟道MOS电路，NMOS集成电路的输入阻抗很高，基本上不需要吸收电流，因此，CMOS与NMOS集成电路连接时不必考虑电流的负载问题。NMOS集成电路大多采用单组正电源供电，并且以5V为多。CMOS集成电路只要选用与NMOS集成电路相同的电源，就可与NMOS集成电路直接连接。不过，从NMOS到CMOS直接连接时，由于NMOS输出的高电平低于CMOS集成电路的输入高电平，因而需要使用一个（电位）