真空获得和真空镀膜_张中月剖析.ppt

真空与薄膜技术 真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的薄膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。因此真空镀膜技术被誉为最具有发展前途的重要技术之一，并已在高技术产业化的发展中展现出有人的市场前景。 要注意：溅射离子泵要在10-1Pa左右压力下启动。如果在低真空下长时间使用，会因离子流过大而使泵发热，导致吸附气体的解吸，甚至导致极间辉光放电和系统的压力升高，严重时还会影响泵的正常工作。另外，溅射离子泵对油蒸汽的污染很敏感，连续抽油蒸汽30min会使泵启动困难。 性能参数：极限真空度、抽气速率和返油率 在喷口处，油蒸汽速率可表示为： 式中，M是油蒸汽分子量。 由此，按照扩散理论推导出的扩散泵的极限压强为： Pf是前级真空压强； n是油蒸汽分子密度； L是蒸汽流扩散长度； 扩散泵的极限压强： ?配备性能良好的前级真空泵对于提高扩散泵的极限真空度是至关重要的。 ?扩散泵的极限真空还取决于扩散泵油的性质。对于同一个扩散泵，使用3号扩散泵油（石油烃），极限真空为10-5Pa。如改用275号硅油，则可达10-7Pa！可见选择泵油的