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扩散常见异常处理 编写人：扩散工序 日期：2013.8.29Lightway New Green Energy Co., Ltd目录 工艺控制点标准 工艺控制点异常效率异常扩散工序更改工艺方法工艺控制点标准扩散半成品标准LWX01B工艺名称标准平均方阻85±15Ω/□炉管均匀性≤13%单点异常85±20Ω/□LWX02工艺名称标准平均方阻75±15Ω/□炉管均匀性≤13%单点异常75±20Ω/□扩散外围条件标准名称标准废排0.8-1.0mbar热排0.8-1.2mbar工艺控制点异常1.扩散方阻超出上限情况1：某一炉管整体方阻或某一温区接近上限或超出上限5Ω/?以内。 解决方法：首先检查运行记录是否有报警，若无报警按如下步骤进行。产生的片子处理方法：该组片子单独下传，观察效率情况。工艺控制点异常1.扩散方阻超出上限运行记录检查方法如下：图1：在工艺电脑上选择上图软件，并打开，弹出图2对话框图2：点击红圈中按钮弹出图3对话框图3：选择需要查看的炉管号等信息图4：选择需要查看的信息，然后点击OK，弹出图5对话框图5若图4中全选为工艺详细运行记录工艺控制点异常1.扩散方阻超出上限DLV调试原则及方法 调试原则：1、方阻较正常范围高1Ω/?，DLV中温度上调1℃。 2、DLV中从炉口至炉尾温度趋势基本为依次降低。 3、DLV各温区温度调试区间炉口到炉尾依次为：（11，-5），（9，-7），（8，-8），（3，-13） ，（1，-15）。 调试方法：图1：选择工艺电脑中如图软件，并进入，弹出图2对话框图2：选择红圈中DLV单击，弹出图3界面图3工艺控制点异常1.扩散方阻超出上限 调试方法：图4：选中图3中右侧DLV文件点击下方check out，将其导入左侧，然后点击下方Edit，弹出图5界面。图5：在图5界面中选择需要调试的炉管号及其对应的工艺名称，对下面参数进行调试。图6：在图5中调试完成后，按图6方式保存。工艺控制点异常1.扩散方阻超出上限情况2：某一炉管方阻超出上限5Ω/?以上。 解决方法：首先检查运行记录、磷源温度是否有报警，若无报警请设备人员检查炉管密闭性、热电偶是否存在其他异常情况，若无异常运行下一管观察方阻。 片子的处理办法：1、若片子颜色与扩散后片子接近或颜色较浅，将片 子进行反面扩散，跟踪效率，若颜色较深，将其进行返工。 2、进行返工处理。工艺控制点异常1.扩散方阻超出上限情况3：某一炉管某一温区明显异于其他温区，如炉口、炉尾方阻较其他温区高10Ω/?左右。 解决方法：首先检查运行记录是否有报警，若无报警请设备人员检查炉管密闭性、热电偶是否存在其他异常情况，若无异常运行下一管工艺观察方阻情况。 （备注：运行记录检查方法同上。）片子的处理办法：质检对各个篮子中片子进行抽测，将异常温区片子取出、返工，其它温区片子下传，跟踪效率。工艺控制点异常1.扩散方阻超出上限情况4：扩散某台机台整体方阻整体超出正常范围5Ω/ ?以内 解决方法：首先检查运行记录是否有报警，检查片源电阻率情况、废排情况，若有异常通知相关部门调试异常，若上述情况正常，进行各个炉管DLV调试。 （备注：运行记录检查方法、DLV调试方法同上。）片子的处理办法：选一、二组片子下传观察效率，无明显异常整体下传并跟踪效率。工艺控制点异常2.扩散方阻超出下限情况1：某一炉管整体方阻或某一温区接近下限或超出下限5Ω/?以内 解决方法：首先检查运行记录是否有报警，若无报警按如下步骤进行。 DLV调试原则：1、方阻较正常范围低1Ω/?，DLV中温度下调1℃。 2、DLV中从炉口至炉尾温度趋势基本为依次降低。 3、DLV各温区温度调试区间炉口到炉尾依次为：（11，-5），（9，-7），（8，-8），（3，-13） ，（1，-15）。调试方法：同上。产生的片子处理方法：该组片子单独下传，观察效率情况。工艺控制点异常2.扩散方阻超出下限情况2：某一炉管整体方阻严重超出下限或超出下限5Ω/□以上。 解决方法：首先检查运行记录、磷源温度是否有报警，若无报警请设备人员检查热电偶 等是否存在其他异常情况，若无异常观察下一管进行观察。 产生的片子处理方法：该组片子进行返工处理。工艺控制点异常2.扩散方阻超出下限情况3：扩散某台机台整体方阻整体超出正常范围5Ω/ ?以内 解决方法：首先检查运行记录是否有报警，检查片源电阻率情况、废排情况，若有异常通知相关部门调试异常，若上述情况正常，进行各个炉管DLV调试。 （备注：运行记录检查方法、DLV调试方法同上。）片子的处理办法：选一、二组片子下传观察效率，无明显异常整体下传并跟踪效率。工艺控制点异常3.均匀性异常调节情况1：若出现方阻正常，均匀性异常情况按如下步骤进行： 解决方法：首先，选择该组均匀性超片的片