偏压电源说明书-唐山标先电子有限公司.docVIP

BOMB IIIS系列 偏压电源使用说明书 唐山标先电子有限公司 地址：河北省唐山市承唐高速遵化南出口物流园区 电话：0315-6028868 / 6028898 传真：0315-6028838 邮编：064202 Http:// E-mail:sash@ EDITION 2014版本： 本说明书将不断完善以利于使用 由于说明书中可能存在的错误或遗漏，电源功能的改进和完善，技术的更新升级，说明书将做相应的调整和修订 请关注所使用的软件版本及说明书版本 危险! 电源产生高电压! ● 任何不正确的操作都可能有生命危险 ● 仔细阅读本说明书中的“操作警告”，避免事故的发生 ● 为了更好的使用电源，请把说明书放在电源旁边 声明：本公司可能对该产品的性能、功能、结构、外观、附件、包装以及说明书等进行完善和提高，恕不另行通知！如造成疑惑，请与本公司联系 本使用说明书的安排 一 偏压电源的用途及主要技术指标 二 结构 三 工作原理 四 安装及使用 五 使用注意事项 六 一般问题处理 七 产品配套 危险！本电源有较高的输出电压，请谨慎操作 一 偏压电源的用途及主要技术指标 1．用途 偏压电源是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件，在镀膜工艺流程中为工件提供负（或正）偏压。其作用大致为 1）提高真空等离子体内带电粒子的能量，轰击清洗所镀工件表面，使工件表面经受高能粒子撞击后得到崭新的表层，从而提高后续沉积膜层的结合力 2）提高并控制真空等离子体内带电粒子的能量，提高膜层与工件基体结合力 3）靠不同的电压输出极性或方式改变沉积规则，调整膜层颜色 4）克服偏压电源工作于真空等离子体环境中，由高电压引起的阴极弧光放电烧伤工件 BOMB Ⅲ系列电源工作在高频开关状态，单极性脉冲输出，脉冲电压值和脉冲宽度独立调整，电压在高、中、低三个输出段内从零到最大连续调节，占空比10-90%连续调节。这种特色可以使电源在输出高电压时通过调整脉冲宽度来控制工件得到的轰击能量，从而控制不必要的工件温升，方便地实现离子镀膜的高压低温沉积工艺。BOMB Ⅲ系列电源具有电压稳定系统，自动调整由电网及负载变化造成的电压波动。电源的控制特点使其适用更广泛的设备环境 2 主要技术指标 2.1输出功率等级 3-120KW 2.2输入电源 三相380V±10% 50-60Hz 2.3输出电压 0-180V 0-500V 0-1000V（脉冲值） 2.4整机效率 ≥85% 2.5灭弧速度 3μS 2.6 工作环境温度 0℃－＋40 ℃Ⅲ-系列偏压电源结构框图 参阅**图3.1 BOMB Ⅲ系列偏压电源原理简图 参阅图3.1 BOMB Ⅲ-系列偏压电源原理简图 1 输入部分 由断路器CB1，软启动接触器K1,主接触器K2，软启动电阻R1-R3等组成 2 整流滤波 由三相整流模块D1，滤波电容C1、C2，放电电阻R4、R5等组成 3 电压稳定系统 由开关调整管Q5，续流二极管D2，调压控制板ZLTY板，调压驱动板ZPQD板，以及输出滤波电容C3、C4，放电电阻R5、R6等组成 4 高频变换隔离 由开关模块Q1-Q4，驱动板HPFQD，控制板HPZK3等组成高频变换，隔离由多绕组高频变压器T1完成 5 输出电压切换 由KL、KM、KH等组成 6 高频整流 由D3及周边吸收电路组成 7 电流电压检测 由LEM.A2、LEM.A3及电压检测板ZLAV组成 8**外部连接 8.1信号采集板ZLAV 8.2内外控制转换及模拟信号输出板APVS 三 工作原理 参阅图3.1 BOMB Ⅲ-系列偏压电源原理简图 参阅**图3.1 BOMB Ⅲ系列偏压电源原理简图 1 主电路 1.1 输入三相交流电经三相桥式整流(D1)滤波(C1-C2)后,转换为 直流电，电压调整管（Q5）及电压稳定电路经高频滤波电容（C3-C4）输出0-500V可调稳压直流电 1.2可调稳压直流电经桥式逆变回路(Q1-Q4)转换为高频交流电源,并经高频变压器耦合到电压切换电路(KL-KM-KH),再经高频整流（D3）后输出不同等级直流脉冲电压 1.3电源工作输出的电流经电流传感器采样后输入控制电路(HPZK3)作为采样信号 1.4 在电路中还设置缓冲吸收线路,过流过压保护线路,以保证电源可靠工作 2 控制电路