第二章长度测量基础..docVIP

第三章 长度测量基础 §2-1 测量的基本概念 测量过程包括：测量对象、计量单位、测量方法及测量精确度等四个要素。 测量对象：机械加工的测量对象主要是几何量，包括长度、角度、粗糙度及形状、位置误差等。长度和角度的定义比较简单、通用，但体现到各类机械零件，其测量种类很多，且要达到相当高的精度，粗糙度和形、位误差的测量专业性较强，要根据专门的定义进行测量，但最终也是以长度量表示。 计量单位：在长度计量中，采用国际单位米制，包括米（m），毫米（mm）和微米（μm），在角度测量中以度、分、秒为单位。 测量方法：是指在进行测量时所采用的计量器具及其测量原理的综合。根据被测对象的特点加以选择。长度测量仪器种类很多，有机械式、光学式、气动式、电子式量仪等。测量精度从0.01 mm到 0.01μm级，有较大的选择范围。 测量的精确度：是指测量结果与真值的一致程度，任何测量过程总不可避免地会出现测量误差，所以，任何测量结果都是以一近似值表示，但采用不同的测量方法，所得到的测量结果与真值的接近程度不一样，也即精确度不一样。一般地说，读数值越小的测量仪器、测量精度越高，如光学计的读数值为0.001，则要比读数值为0.01的千分尺的测量精度要高，但是读数值并不等于测量精度，测量仪器的测量精度一般以表示，其中值一般要大于读数值。，某种仪器的测量精度须由较高级的测量仪器检定。目前，最高级的长度测量仪器是光学干涉仪器。 §2-2 尺寸传递 由前述，过去的米是采用实物基准，现代米是由光速或光波波长来定义的，实际工作中使用的长度量具则应按上述基准来制定。按光波波长来制造精密米尺（也称为线纹尺）和精密量块，需要采用光波干涉仪器。所谓光波干涉仪器是依据光波干涉原理进行测量的（本章稍后将会介绍）。这种仪器能将长度或距离的一个光波波长的变化转换成光波干涉条纹的一次移位。测量时只需要计算干涉条纹的移位次数，则可得到，以光波波长为单位的长度或距离的量值。光波波长一般为几个μm。进一步地，还可通过一定的方法，将一个光波长进行等分，而反映出更小的长度量值，此种仪器精确度及稳定性均很高，以光波干涉仪制造出精密线纹尺和精密量块后，再以精密线纹尺和精密量块为基准，制造供实际工作中使用的米尺和量块。这就叫做尺寸传递。 一、量块及其传递系统 线纹尺即是前述高精密度米尺，有1~3三个等级，线纹尺一般用作尺寸传递的基准。在实际生产中所用的刻线尺是以线纹尺为基准而制成的精度较低的米尺。（坐标镗床上直接采用线纹尺） 量块是单一尺寸的长度基准，最精密的量块也是直接采用光波干涉仪制得。再经过尺传递制得不同精度等级的量块，在实际生产中，量块主要作比较法测量以及校对量具。由各种不同尺寸组成的成套量块可以组成各种尺寸的组合量块供使用。 量块的形状如图3-4所示为长方体，但其中只有二个平行表面为工作测量面。量块是经机械加工后，再经研磨二测量面而制得。量块的精度要求主要有两项，一是两测量面的距离极限偏差，一是二测量面的距离变动量，还有就是表面粗糙度要求。按GB/T6093-2001的规定，量块按制造精度分为6级，即00、0、1、2、3和K级，见表3-1，其中00、0级主要作为量块制造时的传递基准，实际生产中使用1、2、3和K级，K级量块比较特殊，其尺寸极限偏差与1级相同，而其中尺寸变动量与00级相同。如果测量K级量块的具体尺寸（如对尺寸为25mm的K级量块进行测量，量得其实际尺寸为25.0001mm）再按其实际尺寸进行组合，就可达到00级量块的组合精度，再用来校对其它量具，因而称之为校准级。 在实际生产中，量块是按其公称尺寸使用的，而在计量部门，量块则是按其测得的实际尺寸使用的，这样可以得到更高的精度，按实际测得的尺寸使用的量块划分成等。如表3-2与表3-3所示。按等划分的量块的二项主要要求是测量的总不确定和长度（距离）允许变动量，而与量块的长度（距离）的极限偏差无关。 量块均成套供应，各套别量块包含尺寸不同的量块种类从几块到几十块不同，使用时，一般需根据所要求尺寸组合几块量块。组合量块时，应使量块数最少。组合量块的方法如书所述。量块平时应涂上油膜，组合使用时，应切向推合，挤开油膜。如此，结合表面能产生一定的吸附力。 二、角度传递系统 详见书述：角度测量基准也可分为量角器和角度量块，前者用于直接测量角度值，后者用于比较法测量。 精密的量角器也可以利用光波干涉仪和精密滚圆盘来制得。滚圆盘在作纯滚动时具有下述特性，即滚圆盘滚过的圆弧长度等于其圆心的移动量。利用这一特性，就可设计一定的装置，再利用光波干涉仪，在滚圆盘上进行精密的分度刻线，制得精密的量角器分度盘。再通过一定的方法制得分度读数装置，则可以将分度盘上度的刻度再分变成分和秒。实际生产中使用的量角器则是利用上述精密量角器作基准进行传递而加以制造的。