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silvaco的学习心得 1.Silvaco的各仿真组件均在DeckBuild中启动，包括结果由可视化工具Tonyplot输出。主要组件包括以下 三个： ATHENA 对工艺（淀积，离子注入，扩散，氧化光刻，掩膜）进行控制，生成器件结构 ALTAS 对器件特性进行仿真计算 DevEdit 编写器件结构和Mesh编辑器 2.ATHENA的仿真流程 a.建立仿真网格 命令是line,参数有x、y、location、spacing。x、y分别设定垂直x、y轴的网格线，location(loc)为轴上坐标，spacing为网格线之间间距（单位um） b.仿真初始化 命令是initialize(init) c.工艺步骤（如淀积、光刻、氧化、刻蚀、扩散...） d.抽取特性（如结深、材料厚度、浓度分布...） 命令是extract e.结构操作（导入结构、对结构旋转、对结构做镜像和保存...） 命令是structure 保存文件structure outfile=filename.str 对结构做镜像structure mirror left 结构上下翻转，将衬底置表面structure flip.y 导入结构文件structure infile=filename.str f.Tonyplot显示 3.文件类型 输入文件 *.in(DeckBuild界面仿真输入文件) 结构文件 *.str(器件结构文件) 器件仿真结果文件 *.log(仿真结果文件或日志文件) 显示设置文件 *.set(Tonyplot设置文件) 掩膜文件 *.lay(掩膜结构信息文件) Filename.dat(结果抽取文件) 4.Silvaco命令格式 1.由command和paramter组成 如 command parameter1=n n表数值 command parameter2=c c表字符串 2.一行写不完在行尾加“\”续接，“#”表注释 5.DeckBuild命令有：Extract,Go,Set和tonyplot 1.extract 语法（syntax）：extract name=parameters 2.go 语法：go simulator simulator可以是athens或atlas go simulator simflags=simulator simflags仿真参数和程序版本 3.set 语法：set variable=value value可以是数值或表达式 即定义变量 4.tonyplot语法：tonyplot filename.str/filename.log/filename.dat 即将文件显示出来 6.器件特性仿真ALTAS go atlas mesh region electrode 结构定义 doping material models 材料模型定义 contact interface method 选取数值计算方法 log solve 求解 load save extract tonyplot 结果分析 quit ATLAS语法： 状态和参数：ATLAS输入文件包含一系列状态量，每个参量都有对应的关键词 格式：statment parameter=value 四种定义器件结构的方法：1.直接导入结构文件mesh infile=filename 2.由ATHENA直接生成器件结构 electrode name=substrate backside 3.由ATLAS命令生成 x.mesh location=value spacing=value 4.由器件编辑器DecEdit写器件结构 region number=interger material type position parameters 一.结构定义之 1.网格定义mesh 1.网格化分：mesh 如mesh space.mult=value #value默认是1，大于1，则网格变粗糙。 x.mesh location=0.0 spacing=0.05 y.mesh loc=